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摘要 3EN(Pz L .sOEqwO}> 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 $+$S}i= C>:'@o
Z  3pF7} P ',Q|g^rF] 设计任务 #{BHH;J+ /:OSql5K*<  ~d072qUos 6,q }1- ]'iOV-2^' 光栅特性与参数的严格分析 yHk}'YP <_N<L\ 不同光栅周期的衍射效率 -)p
S\$GC 6S GV}d Ax  ,p\ :Z3{ZH [, )G\ 考虑光栅周期的选择 < X b B; d~F 4  ;"K;D@xzh] 偏振相关衍射特性 74p=uQ PV\aQO.mo
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 y k{8O.g fZ5zsm' N 偏振相关衍射特性 (/a#1Pd& ^.HvuG},O  #{ DX*;1m
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