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摘要 sBo|e]m# EZ.|6oug\
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^?5[M^ 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 FTihxC?.L :d7tzYT ^ 建模任务 Qo!/n`19 !i|]OnJY
l~/g^lN Mpm#a0f 由于组件倾斜引起的干涉条纹 @"6dq;" jH1!'1s|
QzwA*\G &wlSOC')j 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 2xchjU- Sc<%$ Gd
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l`2; H!D?;X 文件信息 \`|*i$ %CxrXU
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