-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-08-26
- 在线时间1981小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下，线型的横截面具有梯形形状，它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。 2_C p}P j *0r!eD
光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 <\d2)I v S偏振照明的近场强度 |>>^Mol P偏振照明的近场强度 !L/. [:X
傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 [g+ WL\1
:z|$K^)7Z 参数扫描 uD ;T
(+u&b< <6N Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 UCo<ie\V
Kf$6D 79# 它会生成以下曲线图，显示反射和透射衍射级的强度： E|6@h8 # 'l-VWqR- 在脚本data_analysis/run_can_width.m中，线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化，照明角度固定。 I Qmlm u
|
