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    [分享]磁控溅射基片前清洁 [复制链接]

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    离线liang231929
    实习生
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-07
    也称前期反溅，顺序：抽本底真空--冲氩气--闭靶挡板--关靶电源--开基板偏压（基板反溅）--关闭偏压--开挡板--开启靶进行沉积镀膜
     
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