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摘要 b`W*vduf A Vm{#^p[( 如何在 VirtualLab Fusion 中设置 Mirau 干涉仪？ 本用例通过非顺序通道配置和基本功能仿真演示了建模过程，并评估了来自不同测试表面位置的典型离焦条纹。 6
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 | ",[C3Jg S2E HmE& 任务描述：Mirau 干涉仪示意图 ^Pd3 7&B4V Cc)P5\j h  v Q"s
-Zg @D(p F 系统构建模块和光路 l&*)r;9 TE%#$q  eJw=" 45sxF?GSwL 普通 Mirau 干涉仪的基本组成部分是显微镜物镜、参考面（反射镜）、半透明光学元件（分束器）和实际测试对象。 lVdT^"~3 从光源到探测器有两条主要路径： |90
+)/$4 1. 一束光束通过分束器，然后被测试表面反射并一路返回探测器。 Pzp+I} 2. 另一束光束被分束器反射，聚焦在参考表面上，在此被镜像，再次被分束器反射，然后通过显微镜物镜返回到探测器。 GrR0RwnH)? 通过使用手动通道配置模式，无需依次设置这两个光路（这也可以在一个光学设置中实现）。 3 ;MjO*- @GQ8q]N:< 理想化和通道控制 dAr)%RZ  qzA]2'~Q 仿真的好处是可以专注于系统相关的部分并可以减少其他任意影响。 ggI=I<7M H [Lt%:r
1. 显微镜物镜是用理想透镜仿真的。 j- YJ." 2. 对于半透明板（分束器），是一个平面平行板由熔融石英在其第一表面上使用 15.5 nm 银涂层制作的。 ~ sIGI?5f 为了忽略第二个表面上的背反射，我们使用 VirtualLab的手动通道配置来关闭这些光部分。 这样就不需要对减反射 (AR) 涂层进行单独建模。 x8?x/xE 3. 实际上，小参考面附在透明板上。 在这里，我们只需为“飘浮的”理想平面镜建模。 ge):<k_ 4. 对于全部场追迹仿真，使用了Modeling Level 1，因此忽略了理想平面波截断的衍射效应。 pzq; vMr
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 MJ*]fC3/ <D!c
~*[ 半透明板（分束器）设置 T5S g2a1&
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 g[s\~ MF@s Ji6`-~ k 通常，具有不同反射率值的部分透明板用于分束，因为能量分裂越平衡，干涉条纹的对比度就越好。 <s/<b*T
^ p x|> v8 系统构建模块 – 光路 #1 *el(+ib%
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 *i?rJH m0 j|58~ 光穿过半透明板 :,NFFN • 测试表面位于物镜的焦点区域。 r|^lt7\ • 通道+/+ 和-/- 对半透明板的两个表面都是开放的，以允许来自光源的光和从测试表面反射的光通过。 V+O0k: o
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 .3a:n\tY kxm:g)`=[ 系统构建模块 – 光路 #2 %e
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{0 半透明板反射的光 1xO!w+J# • 对于分束器的反射光路， f4'El2>-86 +/- 通道必须被激活。 #9D/jYK1X
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 mA(nyF Rkpr8MS 系统构建模块 - 测试和参考表面 s] y-pZ
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 q]"2hLq B;z;vrrL • 在这个仿真中，参考和测试表面是 q Vm"f,ruo 以理想镜子为模型。 *$i ; o3 （这就是为什么半透明板的最佳分光比是 50:50，这在 15.5 nm 银涂层的情况下大约可以实现。） &so-O90 #)^^_ • 将真实样品放置在测试表面上，通过沿轴向扫描 Mirau 干涉仪，可以使用不同的干涉图案来计算高度。 .4Qb5I2# s,
n^ • 参考表面的尺寸应该足够小以避免中心遮挡，但要大于焦点的尺寸。 1l/AKI(!
Aq V09 $ 仿真结果 - 干涉条纹 E?Zb~xk
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 (9mbF%b [D3+cDph • Mirau 干涉仪三个不同位置的边缘如下图所示。 LH=d[3Y • 干涉条纹受测试表面离焦多远的影响。较大的散焦值会在测试路径中引入更强的球面相位变化，从而导致更密集的干涉条纹。 tJ=3'?T_k
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 H L jvKE=W z)4UMR#b& 文件信息 fL!V$]HNt EjWgaV
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