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摘要 >a;LBQ0 j+PLtE 如何在 VirtualLab Fusion 中设置 Mirau 干涉仪？ 本用例通过非顺序通道配置和基本功能仿真演示了建模过程，并评估了来自不同测试表面位置的典型离焦条纹。 pr[V*C/
|'``pq/}_
 Nwo*tb: AqAL)`#K 任务描述：Mirau 干涉仪示意图 u2S8D uJ CofTTYl  1QPz|3 f@\
,A5}HRW% 系统构建模块和光路 dT{GB!jz }9 ]7V <  }}Zg/( '0=mV"#H{ 普通 Mirau 干涉仪的基本组成部分是显微镜物镜、参考面（反射镜）、半透明光学元件（分束器）和实际测试对象。 zE Ly1v\" 从光源到探测器有两条主要路径： qu\U^F 1. 一束光束通过分束器，然后被测试表面反射并一路返回探测器。 q"5\bh1" 2. 另一束光束被分束器反射，聚焦在参考表面上，在此被镜像，再次被分束器反射，然后通过显微镜物镜返回到探测器。 EiDnUL(W7h 通过使用手动通道配置模式，无需依次设置这两个光路（这也可以在一个光学设置中实现）。 J|F!$m { <MKX F V 理想化和通道控制 CTe!jMZ=  -Q/wW4dE= 仿真的好处是可以专注于系统相关的部分并可以减少其他任意影响。 ma xpR>7`j aCJ-T8?' 1. 显微镜物镜是用理想透镜仿真的。 $o. ;} 2. 对于半透明板（分束器），是一个平面平行板由熔融石英在其第一表面上使用 15.5 nm 银涂层制作的。 JAM]neKiX 为了忽略第二个表面上的背反射，我们使用 VirtualLab的手动通道配置来关闭这些光部分。 这样就不需要对减反射 (AR) 涂层进行单独建模。 9 I:3 3. 实际上，小参考面附在透明板上。 在这里，我们只需为“飘浮的”理想平面镜建模。 } lXor~_i 4. 对于全部场追迹仿真，使用了Modeling Level 1，因此忽略了理想平面波截断的衍射效应。 O)ose?Z
W7c
B
 ^ZIs >.' If]rg+|U 半透明板（分束器）设置 }( ! rB#bf
c_>AbF{
 0|]d^bo { 6O} E9 通常，具有不同反射率值的部分透明板用于分束，因为能量分裂越平衡，干涉条纹的对比度就越好。 8 ;"9A xSm~V3b c 系统构建模块 – 光路 #1 ArjRoXDE
BnfuI
 P#MUS_x g<ov` bF 光穿过半透明板 !xBJJ/K+| • 测试表面位于物镜的焦点区域。 *Z\AO'h=Z • 通道+/+ 和-/- 对半透明板的两个表面都是开放的，以允许来自光源的光和从测试表面反射的光通过。 .2U3_1dX
3}8L!2_p
 Mnk-"d b@Dt]6_ UL 系统构建模块 – 光路 #2 >K&chg@Hv
fq4uiFi<
 ;>/yY]F7 cv1PiIl 半透明板反射的光 sIbPMu`&U • 对于分束器的反射光路， '?
-N +/- 通道必须被激活。 |3~]XN-
7SN61)[m
 TyA1Qk\ H}lz _#Z 系统构建模块 - 测试和参考表面 2 .= G
E!.&y4
 =c$x xEDD ;y{(# X # • 在这个仿真中，参考和测试表面是 @4Zkkjc4b 以理想镜子为模型。 _ mk@1ft （这就是为什么半透明板的最佳分光比是 50:50，这在 15.5 nm 银涂层的情况下大约可以实现。） >y,. `ECn
/fLm
)vN • 将真实样品放置在测试表面上，通过沿轴向扫描 Mirau 干涉仪，可以使用不同的干涉图案来计算高度。 I;1)a4Xc4R z,hBtq :-$ • 参考表面的尺寸应该足够小以避免中心遮挡，但要大于焦点的尺寸。 0rQ r#0 `
^7 * 7^< 仿真结果 - 干涉条纹 ._t1eb`m{
DF> t Q
 ,t;US.s([. 717G
CL@ • Mirau 干涉仪三个不同位置的边缘如下图所示。 y Tn<5T[H • 干涉条纹受测试表面离焦多远的影响。较大的散焦值会在测试路径中引入更强的球面相位变化，从而导致更密集的干涉条纹。 OSLZ7B^
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 KK5_;< >]%$lSCW\D 文件信息 eE=2~
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