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摘要 xZc].l6 s%OPoRE 如何在 VirtualLab Fusion 中设置 Mirau 干涉仪？ 本用例通过非顺序通道配置和基本功能仿真演示了建模过程，并评估了来自不同测试表面位置的典型离焦条纹。 lHI ;fR
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p~bx 任务描述：Mirau 干涉仪示意图 0<4Nf]i "MX9h }7  E/5/5'gBJO
]ur_G`B 系统构建模块和光路 [19QpK WM Eb.k:8?Tn  aFf( m- q3 7d:Hp 普通 Mirau 干涉仪的基本组成部分是显微镜物镜、参考面（反射镜）、半透明光学元件（分束器）和实际测试对象。 6aq=h` Y 从光源到探测器有两条主要路径： u,&[I^WK`C 1. 一束光束通过分束器，然后被测试表面反射并一路返回探测器。 (_.0g}2 2. 另一束光束被分束器反射，聚焦在参考表面上，在此被镜像，再次被分束器反射，然后通过显微镜物镜返回到探测器。 ,2MLYW, 通过使用手动通道配置模式，无需依次设置这两个光路（这也可以在一个光学设置中实现）。 X1Vj"4 'wT vDit&Lh{T 理想化和通道控制 vOV$H le  !QXPn}q^0 仿真的好处是可以专注于系统相关的部分并可以减少其他任意影响。 )wdTs>W 7 W9M ~2<
L 1. 显微镜物镜是用理想透镜仿真的。 8{)j"rghah 2. 对于半透明板（分束器），是一个平面平行板由熔融石英在其第一表面上使用 15.5 nm 银涂层制作的。 v3I-i|L<) 为了忽略第二个表面上的背反射，我们使用 VirtualLab的手动通道配置来关闭这些光部分。 这样就不需要对减反射 (AR) 涂层进行单独建模。 X :wfmb 3. 实际上，小参考面附在透明板上。 在这里，我们只需为“飘浮的”理想平面镜建模。 |g1~- 4. 对于全部场追迹仿真，使用了Modeling Level 1，因此忽略了理想平面波截断的衍射效应。 hg Pzx@
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 ww#]i&6 . sBwJZ 半透明板（分束器）设置 Q XL HQ_V
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 EZb_8<DH (Rs052m1 通常，具有不同反射率值的部分透明板用于分束，因为能量分裂越平衡，干涉条纹的对比度就越好。 L<H zPg $z
\H* 系统构建模块 – 光路 #1 ~Kiu "
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 !E.CpfaC kC8M2 |L 光穿过半透明板 @0[#XA_> • 测试表面位于物镜的焦点区域。 &|Cd1z#? • 通道+/+ 和-/- 对半透明板的两个表面都是开放的，以允许来自光源的光和从测试表面反射的光通过。 ,C;%AS/
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 ?Jy /]j5fI ,We'A R3X 系统构建模块 – 光路 #2 @ CNe) &U
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 j[Z<|Da `&w{-om\ 半透明板反射的光 `x:8m?q05 • 对于分束器的反射光路， Rn9e#_ Az +/- 通道必须被激活。 \6L,jSoBl
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E^l w61 peD7X :K\s 系统构建模块 - 测试和参考表面 OY Lg-S
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 G;he:Bf 5=hMTztf!! • 在这个仿真中，参考和测试表面是 Boj#r ,x 以理想镜子为模型。 5[0W+W
（这就是为什么半透明板的最佳分光比是 50:50，这在 15.5 nm 银涂层的情况下大约可以实现。） kA4bv} @O9wit. • 将真实样品放置在测试表面上，通过沿轴向扫描 Mirau 干涉仪，可以使用不同的干涉图案来计算高度。 }/J<#}t YMr2Dv\y • 参考表面的尺寸应该足够小以避免中心遮挡，但要大于焦点的尺寸。 4`zK`bRcK#
Lc ! t 仿真结果 - 干涉条纹 &1Cif$Y4w
f~ P~%
 !$pnE:K 0@> • Mirau 干涉仪三个不同位置的边缘如下图所示。 - jWXE • 干涉条纹受测试表面离焦多远的影响。较大的散焦值会在测试路径中引入更强的球面相位变化，从而导致更密集的干涉条纹。 )z!#8 s
k<A|+ y"Ios:v@- 2OZ<t@\OY 文件信息 'BX
U ' +N2 R'Phv
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