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摘要 9**u\H)P6 VzFzVeJ 如何在 VirtualLab Fusion 中设置 Mirau 干涉仪？ 本用例通过非顺序通道配置和基本功能仿真演示了建模过程，并评估了来自不同测试表面位置的典型离焦条纹。 inx0W 3d"T
n~&e>_;(.
 O`(it %Ho! 7)3cq}]O 任务描述：Mirau 干涉仪示意图 ;
>>/}Jw\ ^TY8,qDA  f m,:8%
xZ&S7G1 系统构建模块和光路 g.O? 1bebe >z a= v  6I\mhw!pQ evGUSol?:n 普通 Mirau 干涉仪的基本组成部分是显微镜物镜、参考面（反射镜）、半透明光学元件（分束器）和实际测试对象。 z0&I>PG^ 从光源到探测器有两条主要路径： iJK rNRj 1. 一束光束通过分束器，然后被测试表面反射并一路返回探测器。 r;aP`MVO< 2. 另一束光束被分束器反射，聚焦在参考表面上，在此被镜像，再次被分束器反射，然后通过显微镜物镜返回到探测器。 i(>v~T,( 通过使用手动通道配置模式，无需依次设置这两个光路（这也可以在一个光学设置中实现）。 qS+I lg 'r?OzFtxh 理想化和通道控制 QJ-?6 7_i  ('px X+ 仿真的好处是可以专注于系统相关的部分并可以减少其他任意影响。 bYH! P/ kOuQR$9s 1. 显微镜物镜是用理想透镜仿真的。 Th//u I+ 2. 对于半透明板（分束器），是一个平面平行板由熔融石英在其第一表面上使用 15.5 nm 银涂层制作的。 5Bc)QKh`l| 为了忽略第二个表面上的背反射，我们使用 VirtualLab的手动通道配置来关闭这些光部分。 这样就不需要对减反射 (AR) 涂层进行单独建模。 mJ5LRpXN 3. 实际上，小参考面附在透明板上。 在这里，我们只需为“飘浮的”理想平面镜建模。 KbV%8nx!! 4. 对于全部场追迹仿真，使用了Modeling Level 1，因此忽略了理想平面波截断的衍射效应。 %4E7 Tu,1
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 $$G^#t1=XZ w]0jq
U6 半透明板（分束器）设置 Jid :$T>
Q,`Y
 I2=Kq{ { n%U2LVL 通常，具有不同反射率值的部分透明板用于分束，因为能量分裂越平衡，干涉条纹的对比度就越好。 t| zLR KPA5 X] 系统构建模块 – 光路 #1 YB} _zuZ4&
S. OGLLprp
 uy;3s=03^ rzqUI*4% 光穿过半透明板 K\ \U F • 测试表面位于物镜的焦点区域。 g)i SC?H • 通道+/+ 和-/- 对半透明板的两个表面都是开放的，以允许来自光源的光和从测试表面反射的光通过。 .tb~f@xL
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 w,.Hdd6 " ,rA 系统构建模块 – 光路 #2 uL4 @e
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 :r/rByd' Ic/<jFZXM 半透明板反射的光 K~WwV8c9 ; • 对于分束器的反射光路， U\~[ +/- 通道必须被激活。 } q
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(Qq$ql 27
 i9M6%R1m}E uS|Zkuk[! 系统构建模块 - 测试和参考表面 E|Grk
8`qw1dF
 ZdH WSfO)O WiviH#hF • 在这个仿真中，参考和测试表面是 wL 5).`oq 以理想镜子为模型。 ?I 1@:?Qi （这就是为什么半透明板的最佳分光比是 50:50，这在 15.5 nm 银涂层的情况下大约可以实现。） 1.H"$D>TC CsR~qQ
5 • 将真实样品放置在测试表面上，通过沿轴向扫描 Mirau 干涉仪，可以使用不同的干涉图案来计算高度。 =4M i V] 5>w>J • 参考表面的尺寸应该足够小以避免中心遮挡，但要大于焦点的尺寸。 O!]w J
M=N`&m \ 仿真结果 - 干涉条纹 >8tE`2[i*
Gz@%UIv
 xD1B50 y U D1O7S]j • Mirau 干涉仪三个不同位置的边缘如下图所示。 a <gzI • 干涉条纹受测试表面离焦多远的影响。较大的散焦值会在测试路径中引入更强的球面相位变化，从而导致更密集的干涉条纹。 ,_lwT} *w
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3nK'yC 文件信息 G%kXr$?W KQ9:lJKr
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