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摘要 # Cpd9| xvl3vAN9 如何在 VirtualLab Fusion 中设置 Mirau 干涉仪？ 本用例通过非顺序通道配置和基本功能仿真演示了建模过程，并评估了来自不同测试表面位置的典型离焦条纹。 v ~QHMg
o1 M$.*
 pRkP~ZISU Xs: 3'ua 任务描述：Mirau 干涉仪示意图 8Nu=^[qwQM 9mA{K  'AN>`\m R$
_SW3_8SuM. 系统构建模块和光路 (x/k.& Zm6{n '  F~ h7{@\ ~e6 Brq 普通 Mirau 干涉仪的基本组成部分是显微镜物镜、参考面（反射镜）、半透明光学元件（分束器）和实际测试对象。 yw];P
o, 从光源到探测器有两条主要路径： Ym3\pRFiD 1. 一束光束通过分束器，然后被测试表面反射并一路返回探测器。 M#(+c _(r 2. 另一束光束被分束器反射，聚焦在参考表面上，在此被镜像，再次被分束器反射，然后通过显微镜物镜返回到探测器。 'yMF~r3 J 通过使用手动通道配置模式，无需依次设置这两个光路（这也可以在一个光学设置中实现）。 *98$dQR$ <H bcNE~ 理想化和通道控制 CrwwU7qKL  ,l<6GB2\ 仿真的好处是可以专注于系统相关的部分并可以减少其他任意影响。 dqN5]Sb2B 8F._9U-EN 1. 显微镜物镜是用理想透镜仿真的。 Ii G6<|d8H 2. 对于半透明板（分束器），是一个平面平行板由熔融石英在其第一表面上使用 15.5 nm 银涂层制作的。 "'D=,* 为了忽略第二个表面上的背反射，我们使用 VirtualLab的手动通道配置来关闭这些光部分。 这样就不需要对减反射 (AR) 涂层进行单独建模。 rqY`8Ry2M 3. 实际上，小参考面附在透明板上。 在这里，我们只需为“飘浮的”理想平面镜建模。 sBcPq SMby 4. 对于全部场追迹仿真，使用了Modeling Level 1，因此忽略了理想平面波截断的衍射效应。 C.FI~Z
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 iyg*Xbmi~. y&V@^ "` 半透明板（分束器）设置 ZMel{w`n
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 2 B Za 1QC;7 通常，具有不同反射率值的部分透明板用于分束，因为能量分裂越平衡，干涉条纹的对比度就越好。 xL\ 0B,] /Njd[= B 系统构建模块 – 光路 #1 'Iw NTM
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 >Wv;R2| ~^1 {B\I 光穿过半透明板 Eea*s' • 测试表面位于物镜的焦点区域。 [k/@E+; • 通道+/+ 和-/- 对半透明板的两个表面都是开放的，以允许来自光源的光和从测试表面反射的光通过。
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 ?!` /m|" "$YJX1u3 系统构建模块 – 光路 #2 a ?)NC
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半透明板反射的光 PamO8^!G • 对于分束器的反射光路， oU.R2\Q +/- 通道必须被激活。 9-fLz?J
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 z ?R|Ok %`1q-,>v 系统构建模块 - 测试和参考表面 G$F<$
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 ^LoUi1j k Y-N>E: • 在这个仿真中，参考和测试表面是 GkQpELO: 以理想镜子为模型。 ]H+8rY%+ （这就是为什么半透明板的最佳分光比是 50:50，这在 15.5 nm 银涂层的情况下大约可以实现。） %z,m B$LY
CDK 5 • 将真实样品放置在测试表面上，通过沿轴向扫描 Mirau 干涉仪，可以使用不同的干涉图案来计算高度。 .uMn0PE CTq&-l:f • 参考表面的尺寸应该足够小以避免中心遮挡，但要大于焦点的尺寸。 f Sa"% 8%
i#v YyVr[ 仿真结果 - 干涉条纹 j i7[nY
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 $QN"w L|| .$+#1- • Mirau 干涉仪三个不同位置的边缘如下图所示。 5YeM%%-S • 干涉条纹受测试表面离焦多远的影响。较大的散焦值会在测试路径中引入更强的球面相位变化，从而导致更密集的干涉条纹。 |EX(8y
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