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摘要 &B>YiA oS_<;Fj 如何在 VirtualLab Fusion 中设置 Mirau 干涉仪？ 本用例通过非顺序通道配置和基本功能仿真演示了建模过程，并评估了来自不同测试表面位置的典型离焦条纹。 NQhlb"Ix
U)gr C8 C
 i:,37INMt Gv zw=~8 任务描述：Mirau 干涉仪示意图 -4'yC_8t }m Sf g  cakb.Q
[vY? ! 系统构建模块和光路 mu =H&JC X?Mc"M  6 s|4'! N >4uqFo 普通 Mirau 干涉仪的基本组成部分是显微镜物镜、参考面（反射镜）、半透明光学元件（分束器）和实际测试对象。 rocG;$[ 从光源到探测器有两条主要路径： t&=]>blIs 1. 一束光束通过分束器，然后被测试表面反射并一路返回探测器。 U m9]X@z 2. 另一束光束被分束器反射，聚焦在参考表面上，在此被镜像，再次被分束器反射，然后通过显微镜物镜返回到探测器。 P(&9S` I 通过使用手动通道配置模式，无需依次设置这两个光路（这也可以在一个光学设置中实现）。 =e$6o 2!'} GwaU7[6 理想化和通道控制 F,-S&d  ghd*EXrF
H 仿真的好处是可以专注于系统相关的部分并可以减少其他任意影响。 V_"K |KxFi H 1. 显微镜物镜是用理想透镜仿真的。 h_Ca c@F0 2. 对于半透明板（分束器），是一个平面平行板由熔融石英在其第一表面上使用 15.5 nm 银涂层制作的。 ^UAL5}CQt 为了忽略第二个表面上的背反射，我们使用 VirtualLab的手动通道配置来关闭这些光部分。 这样就不需要对减反射 (AR) 涂层进行单独建模。 =D2x@ank[ 3. 实际上，小参考面附在透明板上。 在这里，我们只需为“飘浮的”理想平面镜建模。 aPMqJ#fIr 4. 对于全部场追迹仿真，使用了Modeling Level 1，因此忽略了理想平面波截断的衍射效应。 ZNvnVW<
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 4_w+NI,; ;f7;U=gl, 半透明板（分束器）设置 Z;#Ei.7p|
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!TP :5`BhFAd 通常，具有不同反射率值的部分透明板用于分束，因为能量分裂越平衡，干涉条纹的对比度就越好。 Z '~y Uo= G.}
3hd0 系统构建模块 – 光路 #1 `9
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 duKR;5: t3)nG8>
) 光穿过半透明板 '<C I^5^ • 测试表面位于物镜的焦点区域。 .V?i 3 • 通道+/+ 和-/- 对半透明板的两个表面都是开放的，以允许来自光源的光和从测试表面反射的光通过。 {^xp?zpV
IP` ;hC
 + fQ=G/ 9
1r"-%(r 系统构建模块 – 光路 #2 Jy x6{O j
(f 0p
 bS+by'Ea1W : qKx m( 半透明板反射的光 E( e'qL • 对于分束器的反射光路， I
=t{ u; +/- 通道必须被激活。 ': f q
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 I T)rhi: K bY5
qou 系统构建模块 - 测试和参考表面 i`^`^Ka
hY.zwotH
 #`C ;@#xr J@y 1L]: • 在这个仿真中，参考和测试表面是 T6|zT }cb 以理想镜子为模型。 !TRJsL 8 （这就是为什么半透明板的最佳分光比是 50:50，这在 15.5 nm 银涂层的情况下大约可以实现。） N. |Zh+! BC0T[o(f8 • 将真实样品放置在测试表面上，通过沿轴向扫描 Mirau 干涉仪，可以使用不同的干涉图案来计算高度。 ^3N i >Rw [ x • 参考表面的尺寸应该足够小以避免中心遮挡，但要大于焦点的尺寸。 kne{Tp
d FF [2 仿真结果 - 干涉条纹 &Z_W*D
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t]Xdzy • Mirau 干涉仪三个不同位置的边缘如下图所示。 xV'\2n=1T • 干涉条纹受测试表面离焦多远的影响。较大的散焦值会在测试路径中引入更强的球面相位变化，从而导致更密集的干涉条纹。 )g:\N8A ZK
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)DsC:cP 文件信息 M$z.S0" < @}~Fp@
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