-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-10-23
- 在线时间1989小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 _ 2R;@[f2 wG ua"@IE 如何在 VirtualLab Fusion 中设置 Mirau 干涉仪？ 本用例通过非顺序通道配置和基本功能仿真演示了建模过程，并评估了来自不同测试表面位置的典型离焦条纹。 )!s f@F?
,Hlbl}.ls
 q5p!Ty" jhr: QS /9 任务描述：Mirau 干涉仪示意图 &$:1rA _v g+bc4eU  <]2X~+v
F\^9=}b_i 系统构建模块和光路 {U= Mfo?AH \_bk+}WJ]s  f!|7j}3 Z@4 BTA 普通 Mirau 干涉仪的基本组成部分是显微镜物镜、参考面（反射镜）、半透明光学元件（分束器）和实际测试对象。 eG55[V<! 从光源到探测器有两条主要路径： | :7O 1. 一束光束通过分束器，然后被测试表面反射并一路返回探测器。 \fj* .[, 2. 另一束光束被分束器反射，聚焦在参考表面上，在此被镜像，再次被分束器反射，然后通过显微镜物镜返回到探测器。 r#M0X^4 A 通过使用手动通道配置模式，无需依次设置这两个光路（这也可以在一个光学设置中实现）。 [K1RP. 3x@t7 B 理想化和通道控制 IH(]RHTp%  "j#;MOK 仿真的好处是可以专注于系统相关的部分并可以减少其他任意影响。 yU<T_&M
\qj4v^\ 1. 显微镜物镜是用理想透镜仿真的。 <$7HX /P 2. 对于半透明板（分束器），是一个平面平行板由熔融石英在其第一表面上使用 15.5 nm 银涂层制作的。 #&u9z5ywM 为了忽略第二个表面上的背反射，我们使用 VirtualLab的手动通道配置来关闭这些光部分。 这样就不需要对减反射 (AR) 涂层进行单独建模。 5 Sm9m*/ 3. 实际上，小参考面附在透明板上。 在这里，我们只需为“飘浮的”理想平面镜建模。 D" UCe7 4. 对于全部场追迹仿真，使用了Modeling Level 1，因此忽略了理想平面波截断的衍射效应。 JVy- Y
5 Yj qN
 o/ ??w:' A c{"$P` 半透明板（分束器）设置 T?B753I
r {R879
 .K%1{`.| Y_'3pX, 通常，具有不同反射率值的部分透明板用于分束，因为能量分裂越平衡，干涉条纹的对比度就越好。 xvn@zi 90<z*j$EK 系统构建模块 – 光路 #1 : E`/z@I
+| |y/}1
 jNV)=s^ed[ Vcjmj 光穿过半透明板 PggjuPPh • 测试表面位于物镜的焦点区域。 \zOo[/-< • 通道+/+ 和-/- 对半透明板的两个表面都是开放的，以允许来自光源的光和从测试表面反射的光通过。 "Bn8WT2?
L{PH8Xl _
 gkkT<hEV= &/wd_;d^A 系统构建模块 – 光路 #2 B'[FnJ8 ~
'$nm~z,V
 A:Y
([ AIN Fv; 半透明板反射的光 tAPn? d5 • 对于分束器的反射光路， at<N?r +/- 通道必须被激活。 :]]#X
~J
`hpX 97v
 gu:8+/W8L ': fq/k3;& 系统构建模块 - 测试和参考表面 iG+hj:5
)DG>omCY
 L?h'^*F H} KAkD" (! • 在这个仿真中，参考和测试表面是 ZRCm'p3 以理想镜子为模型。 R"Ff(1m （这就是为什么半透明板的最佳分光比是 50:50，这在 15.5 nm 银涂层的情况下大约可以实现。） 4 q- /R ;YGCsLT<xt • 将真实样品放置在测试表面上，通过沿轴向扫描 Mirau 干涉仪，可以使用不同的干涉图案来计算高度。 WZh%iuI{C , yd]R4M • 参考表面的尺寸应该足够小以避免中心遮挡，但要大于焦点的尺寸。 XWd;-%`<
v^A4%e<8^r 仿真结果 - 干涉条纹 VA D9 mS^~
r. z=
 9Ub##5$[, p<[gzmU9\b • Mirau 干涉仪三个不同位置的边缘如下图所示。 "/ 9EUbca • 干涉条纹受测试表面离焦多远的影响。较大的散焦值会在测试路径中引入更强的球面相位变化，从而导致更密集的干涉条纹。 [}ayaXXQ5
"39\@Ow
 qnc?&f Z(h.)$yH*= 文件信息 qp##>c31X b@s6jNhVO^
 WW B m*?U
|
