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摘要 CKK8 o9W WukD|BCC 如何在 VirtualLab Fusion 中设置 Mirau 干涉仪？ 本用例通过非顺序通道配置和基本功能仿真演示了建模过程，并评估了来自不同测试表面位置的典型离焦条纹。 sqhM[u
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 B 4%W ,F:@ ~_Aclm? 任务描述：Mirau 干涉仪示意图 Yvo nZ F{v+z8nW  M%m$ 5[;n
k 2~j:&p 系统构建模块和光路 dXZV1e1b&# $4m{g"xL  C.e ZcNJG +]G;_/[2 普通 Mirau 干涉仪的基本组成部分是显微镜物镜、参考面（反射镜）、半透明光学元件（分束器）和实际测试对象。 o4xZaF4+ 从光源到探测器有两条主要路径： s<:J(gD 1. 一束光束通过分束器，然后被测试表面反射并一路返回探测器。 IsI\T8yfc 2. 另一束光束被分束器反射，聚焦在参考表面上，在此被镜像，再次被分束器反射，然后通过显微镜物镜返回到探测器。 "Mth<%i 通过使用手动通道配置模式，无需依次设置这两个光路（这也可以在一个光学设置中实现）。 3/iGSG` SKGYmleR 理想化和通道控制 Hly$ Wm  c}QjKJ-c 仿真的好处是可以专注于系统相关的部分并可以减少其他任意影响。 {=TD^>? <3'r&ks 1. 显微镜物镜是用理想透镜仿真的。 o`G@Je_}x 2. 对于半透明板（分束器），是一个平面平行板由熔融石英在其第一表面上使用 15.5 nm 银涂层制作的。 a4?:suX$ 为了忽略第二个表面上的背反射，我们使用 VirtualLab的手动通道配置来关闭这些光部分。 这样就不需要对减反射 (AR) 涂层进行单独建模。 6 LC*X 3. 实际上，小参考面附在透明板上。 在这里，我们只需为“飘浮的”理想平面镜建模。 [!"u&iu` 4. 对于全部场追迹仿真，使用了Modeling Level 1，因此忽略了理想平面波截断的衍射效应。 ."dmL=
y 2bZo'Z
 o}<}zTU )tB mSVprl 半透明板（分束器）设置 2|+**BxHD
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U!-7 通常，具有不同反射率值的部分透明板用于分束，因为能量分裂越平衡，干涉条纹的对比度就越好。 z"|^Y|`m 2s~ X 系统构建模块 – 光路 #1 ^8DC
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 S~hNSw (- ))<3+^S0V\ 光穿过半透明板 b2hB' !m • 测试表面位于物镜的焦点区域。 uk16 • 通道+/+ 和-/- 对半透明板的两个表面都是开放的，以允许来自光源的光和从测试表面反射的光通过。 0GEK xV\F
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@wb V@ u9 J;OsnHK 系统构建模块 – 光路 #2 +c?1\{M
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 L9(fa+$+# ?Yxk1Y4ig) 半透明板反射的光 iphe0QE[#} • 对于分束器的反射光路， r\Zz=~ Ry8@U9B6,t 0@vSl%I+ 系统构建模块 - 测试和参考表面 !>TH#sU$
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 "9aiin D3N\$ D • 在这个仿真中，参考和测试表面是 gq!| 0 以理想镜子为模型。 ; vnG （这就是为什么半透明板的最佳分光比是 50:50，这在 15.5 nm 银涂层的情况下大约可以实现。）
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M YLk/16r • 将真实样品放置在测试表面上，通过沿轴向扫描 Mirau 干涉仪，可以使用不同的干涉图案来计算高度。 yc?+L ;fN {fmSmD
• 参考表面的尺寸应该足够小以避免中心遮挡，但要大于焦点的尺寸。 L'M'I0"/
Hn+w1v&3 仿真结果 - 干涉条纹 *%bQ p
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 Q)#+S(TG rjH L06qE • Mirau 干涉仪三个不同位置的边缘如下图所示。 %3!DRz • 干涉条纹受测试表面离焦多远的影响。较大的散焦值会在测试路径中引入更强的球面相位变化，从而导致更密集的干涉条纹。 3!ZndW SHV
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 \L Gj]mb1 i{vM NI{ 文件信息 fL>>hBCqC x 8|sdZFxo
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