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摘要 ;mJkqbVol Hcl"T1N* 如何在 VirtualLab Fusion 中设置 Mirau 干涉仪？ 本用例通过非顺序通道配置和基本功能仿真演示了建模过程，并评估了来自不同测试表面位置的典型离焦条纹。 |[w^eg
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E 任务描述：Mirau 干涉仪示意图 :` <psvd F X 1C
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Z t`j\^4n 系统构建模块和光路 -lp"#^ ; 5^|"_Q#:  U ?6yke b{HhS6<K? 普通 Mirau 干涉仪的基本组成部分是显微镜物镜、参考面（反射镜）、半透明光学元件（分束器）和实际测试对象。 y"R("j $ 从光源到探测器有两条主要路径： Dm4B 1. 一束光束通过分束器，然后被测试表面反射并一路返回探测器。 {"4<To]z 2. 另一束光束被分束器反射，聚焦在参考表面上，在此被镜像，再次被分束器反射，然后通过显微镜物镜返回到探测器。 2
zl~>3S 通过使用手动通道配置模式，无需依次设置这两个光路（这也可以在一个光学设置中实现）。 %AgA -pBp 9UmBm #" 理想化和通道控制 ;vUxO<cKFq  0 0,9a zs 仿真的好处是可以专注于系统相关的部分并可以减少其他任意影响。 5 vGioO =L16hDk o 1. 显微镜物镜是用理想透镜仿真的。 V* Qe5j9 2. 对于半透明板（分束器），是一个平面平行板由熔融石英在其第一表面上使用 15.5 nm 银涂层制作的。 104!!m 为了忽略第二个表面上的背反射，我们使用 VirtualLab的手动通道配置来关闭这些光部分。 这样就不需要对减反射 (AR) 涂层进行单独建模。 #L1>dHhat 3. 实际上，小参考面附在透明板上。 在这里，我们只需为“飘浮的”理想平面镜建模。 HwW6tQ 4. 对于全部场追迹仿真，使用了Modeling Level 1，因此忽略了理想平面波截断的衍射效应。 !Ud:?U
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q p gf@
 Z%;)@0~f \Jf9npz3 半透明板（分束器）设置 uri*lC
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!. DnKu cI3KB-lM# 通常，具有不同反射率值的部分透明板用于分束，因为能量分裂越平衡，干涉条纹的对比度就越好。 M4H"].Zm eRVY.E< 系统构建模块 – 光路 #1 uA^hCh-js
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 _]Ey Ea p Dm K 光穿过半透明板 4n4j=x]@ • 测试表面位于物镜的焦点区域。 1(# RN9 • 通道+/+ 和-/- 对半透明板的两个表面都是开放的，以允许来自光源的光和从测试表面反射的光通过。 CnQg *+
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 @jKDj ]\ 5 R"2Wd 系统构建模块 – 光路 #2 rx}* u3x=
c G*(C
 4D GY6PS E{I) ]h 半透明板反射的光 dWj x"7^ • 对于分束器的反射光路， n/?eZx1 +/- 通道必须被激活。 Gb?g, >C
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 0 S2v"(_T a0{[P$$ 系统构建模块 - 测试和参考表面 $(XgKq&xWZ
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 s`r-v/3l 8Kk 3_ y • 在这个仿真中，参考和测试表面是 SF"#\{cjj 以理想镜子为模型。 ;Na^]32 （这就是为什么半透明板的最佳分光比是 50:50，这在 15.5 nm 银涂层的情况下大约可以实现。） =g >.X9lr ]79~ :m[C • 将真实样品放置在测试表面上，通过沿轴向扫描 Mirau 干涉仪，可以使用不同的干涉图案来计算高度。 )7k&`?Mh JxnuGkE0[# • 参考表面的尺寸应该足够小以避免中心遮挡，但要大于焦点的尺寸。 D {Oq\*
d&5c_6oW 仿真结果 - 干涉条纹 8,_ -0_^$
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 6<<'bi UKOFT6| • Mirau 干涉仪三个不同位置的边缘如下图所示。 K]ca4Z • 干涉条纹受测试表面离焦多远的影响。较大的散焦值会在测试路径中引入更强的球面相位变化，从而导致更密集的干涉条纹。 -.^ 3;-[
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D 文件信息 Z@}sCZ=#A 6NzBpur 2H
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