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摘要 KARQKFp!C> >w2Wy YJYH 如何在 VirtualLab Fusion 中设置 Mirau 干涉仪？ 本用例通过非顺序通道配置和基本功能仿真演示了建模过程，并评估了来自不同测试表面位置的典型离焦条纹。 XdXS^QA .s
b`%e{99\
 )^a#Xn3z x#xO { 任务描述：Mirau 干涉仪示意图 !wufoK "r(p K@h  V,%5
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{?M*ZRO' 系统构建模块和光路 Hw-oh?= oXOO 10  d}G."wnG9, V?pO ~q o 普通 Mirau 干涉仪的基本组成部分是显微镜物镜、参考面（反射镜）、半透明光学元件（分束器）和实际测试对象。 $@!&M L 从光源到探测器有两条主要路径： %b'VEd7 1. 一束光束通过分束器，然后被测试表面反射并一路返回探测器。 v-]-wNqT 2. 另一束光束被分束器反射，聚焦在参考表面上，在此被镜像，再次被分束器反射，然后通过显微镜物镜返回到探测器。 Wn</",Gf 通过使用手动通道配置模式，无需依次设置这两个光路（这也可以在一个光学设置中实现）。 m&vYZ3vK[ h]z|OhG 理想化和通道控制 ktJLp Z<0O  9w< _XXQ 仿真的好处是可以专注于系统相关的部分并可以减少其他任意影响。 GHrT?zEX uS10P7N} 1. 显微镜物镜是用理想透镜仿真的。 \:^n-D*fX 2. 对于半透明板（分束器），是一个平面平行板由熔融石英在其第一表面上使用 15.5 nm 银涂层制作的。 E
MbI\=>yS 为了忽略第二个表面上的背反射，我们使用 VirtualLab的手动通道配置来关闭这些光部分。 这样就不需要对减反射 (AR) 涂层进行单独建模。
F n Rxc 3. 实际上，小参考面附在透明板上。 在这里，我们只需为“飘浮的”理想平面镜建模。 Xg)FIaw]eT 4. 对于全部场追迹仿真，使用了Modeling Level 1，因此忽略了理想平面波截断的衍射效应。 {Ao^3vB
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 &(1NOyX& hA19:H=7R0 半透明板（分束器）设置
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 h | S~9kp?kR$ 通常，具有不同反射率值的部分透明板用于分束，因为能量分裂越平衡，干涉条纹的对比度就越好。 .VV!$;
FB ~./u0E 系统构建模块 – 光路 #1 @Bwl)G!|
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I #SUq.A 光穿过半透明板 aQuy*\$$ • 测试表面位于物镜的焦点区域。 eEFT(e5.>3 • 通道+/+ 和-/- 对半透明板的两个表面都是开放的，以允许来自光源的光和从测试表面反射的光通过。 Q&\ksM
\0& (q%c
 enepAu-="p l3$?eGGM 系统构建模块 – 光路 #2 VrP%4 P+
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 "qp _*Y c>k6i?u:X7 半透明板反射的光 LKG|S<s • 对于分束器的反射光路， FCAu%lvZT +/- 通道必须被激活。 PQ|x?98
yX mp] 9$
 |pg5m*h Nd)o1 {I 系统构建模块 - 测试和参考表面 f%l#g ]]
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 XV!EjD~q >U.uRq • 在这个仿真中，参考和测试表面是 ZU 6a 以理想镜子为模型。 \ OB3gnR （这就是为什么半透明板的最佳分光比是 50:50，这在 15.5 nm 银涂层的情况下大约可以实现。） q+Q)IVaU81 4x >e7Kf • 将真实样品放置在测试表面上，通过沿轴向扫描 Mirau 干涉仪，可以使用不同的干涉图案来计算高度。 T!E LH! 40ZB;j$l • 参考表面的尺寸应该足够小以避免中心遮挡，但要大于焦点的尺寸。 pr?(5{BL
k}g s;|_ 仿真结果 - 干涉条纹 D/>5\da+y
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 R e>e |$.T 4\RuJ x • Mirau 干涉仪三个不同位置的边缘如下图所示。 ttRH[[E( • 干涉条纹受测试表面离焦多远的影响。较大的散焦值会在测试路径中引入更强的球面相位变化，从而导致更密集的干涉条纹。 ak&v/%N
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 +r"$?bw ' 6dlPS{H# U 文件信息 wxrT(x| YO61 pZY
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