-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-09-04
- 在线时间1983小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 Th^ #H MT0{hsuK9 如何在 VirtualLab Fusion 中设置 Mirau 干涉仪？ 本用例通过非顺序通道配置和基本功能仿真演示了建模过程，并评估了来自不同测试表面位置的典型离焦条纹。 elgQcJ99
oy: MM
 uJ[Vv4N%9 w\*/(E<:
任务描述：Mirau 干涉仪示意图 ]L^M7SKE6 c<e\JJY5?  F
k;su,]_
i@L2W>{P 系统构建模块和光路 3fTI&2: f tDV 3If  V p{5Kxq Y cpO;md 普通 Mirau 干涉仪的基本组成部分是显微镜物镜、参考面（反射镜）、半透明光学元件（分束器）和实际测试对象。 q04Dj-2< 从光源到探测器有两条主要路径： QGy=JH b 1. 一束光束通过分束器，然后被测试表面反射并一路返回探测器。 q(Q9FonU 2. 另一束光束被分束器反射，聚焦在参考表面上，在此被镜像，再次被分束器反射，然后通过显微镜物镜返回到探测器。 4N j?U Da 通过使用手动通道配置模式，无需依次设置这两个光路（这也可以在一个光学设置中实现）。 UUqj?'Nv au* jMcq 理想化和通道控制 >,Z{wxz J  aM!# 仿真的好处是可以专注于系统相关的部分并可以减少其他任意影响。 gw T,D.'Ut yw!`1#3. 1. 显微镜物镜是用理想透镜仿真的。 LP /4e` 2. 对于半透明板（分束器），是一个平面平行板由熔融石英在其第一表面上使用 15.5 nm 银涂层制作的。 &
jvG]>CS' 为了忽略第二个表面上的背反射，我们使用 VirtualLab的手动通道配置来关闭这些光部分。 这样就不需要对减反射 (AR) 涂层进行单独建模。 e]?S-J' z 3. 实际上，小参考面附在透明板上。 在这里，我们只需为“飘浮的”理想平面镜建模。 IOl"Xgn5 4. 对于全部场追迹仿真，使用了Modeling Level 1，因此忽略了理想平面波截断的衍射效应。 zX `RN )C
0 +LloB
 ArK9E!`^ !yrHVc 半透明板（分束器）设置 ,c l<74d
|"v{RC0
 S
'+"+%^tj @un
}&URp 通常，具有不同反射率值的部分透明板用于分束，因为能量分裂越平衡，干涉条纹的对比度就越好。 &Sa~Wtm |* 7+4"+CA 系统构建模块 – 光路 #1 vy2aNUmt
\l5:A]J
 ifZNl, p>3 '77
V 光穿过半透明板 c@M@t0WT[ • 测试表面位于物镜的焦点区域。 $t'I*k^N • 通道+/+ 和-/- 对半透明板的两个表面都是开放的，以允许来自光源的光和从测试表面反射的光通过。 38i,\@p`9$
}j*/>m
 ;jI"|v{vnS S\gP= .G 系统构建模块 – 光路 #2 u _=y,~s
ZN eqsN{
 Fg_s'G,` ~1s l.8 tF 半透明板反射的光 *?Ef}:] • 对于分束器的反射光路，
R QNi&zX/ +/- 通道必须被激活。 % 6.jh#C
1G.gPx[
 tta0sJ8 i Nn1^#kc 系统构建模块 - 测试和参考表面 *Bsmn!_cB{
:Xh`.*{EX
 rd4'y~#S dvF48,kr • 在这个仿真中，参考和测试表面是 l?_!eA 以理想镜子为模型。 q.km>XRk~ （这就是为什么半透明板的最佳分光比是 50:50，这在 15.5 nm 银涂层的情况下大约可以实现。） q|l|mO j)6B^! • 将真实样品放置在测试表面上，通过沿轴向扫描 Mirau 干涉仪，可以使用不同的干涉图案来计算高度。 [qMdOY%jx ER1mA:8>E • 参考表面的尺寸应该足够小以避免中心遮挡，但要大于焦点的尺寸。 [;YBX] t
K/ m)f# 仿真结果 - 干涉条纹 3eP0v
Kg-X]yu*0
 L b;vrh;A _rd j,F8 • Mirau 干涉仪三个不同位置的边缘如下图所示。 }(EOQ2TI • 干涉条纹受测试表面离焦多远的影响。较大的散焦值会在测试路径中引入更强的球面相位变化，从而导致更密集的干涉条纹。 dU^<7 K:S
Ab<Ok\e5
 Jd"s~n<>K N@a'd0o Td 文件信息 BG0M j2 }_l
-'t
 .ASwX
|
