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    [求助]两膜系整合镀出来偏窄是为什么啊？ [复制链接]

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    离线仙溪谷
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-21
    我用的长波通做了个膜系，然后短波通做了一个，最后复合在一个里面再去做的优化，为什么这个最后两边镀出来会收缩啊 hWM< 0=  
    然后之前做的100半波宽，现在我设置的110半波宽，相反这个表现出来半波宽还更窄了，从原来设计的90到87nm ~ DBcIy?  
    !ipR$ dM  
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    离线cheng71244
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    只看该作者 1楼 发表于: 05-29
    请问有后续了吗？
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    离线仙溪谷
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    只看该作者 2楼 发表于: 06-03
    回 cheng71244 的帖子
    cheng71244:请问有后续了吗？ (2026-05-29 16:34)  }|g\ 8jq  
    cki81bOT  
    没后续，但是我自己找到原因了，跟膜系设计没关系，跟实际机台有关，换用光控会表现更加稳定
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    离线仙溪谷
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    只看该作者 3楼 发表于: 06-03
    回 cheng71244 的帖子
    cheng71244:请问有后续了吗？ (2026-05-29 16:34)  dwDcR,z?a  
    J|~MC7#@q  
    还有就是工具因子
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    离线quan6658
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    只看该作者 4楼 发表于: 06-05
    就是镀不了那么准，镀成这样已经很不错了，可以在设计的时候根据这个调整下半高宽度
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    离线quan6658
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    只看该作者 5楼 发表于: 06-05
    有没有试过长波通加短波通然后优化镀在一个面上啊 A v2 08}Y  
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    离线仙溪谷
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    只看该作者 6楼 发表于: 06-08
    回 quan6658 的帖子
    quan6658:有没有试过长波通加短波通然后优化镀在一个面上啊 xe{ !wX  
     (2026-06-05 18:46)  %?}33yV  
    B@&4i?yJ  
    哈哈，就是这样弄的，一个长波通设计好和短波通设计好然后凑成一个膜堆进行简单优化出来
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    离线仙溪谷
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    只看该作者 7楼 发表于: 06-08
    回 quan6658 的帖子
    quan6658:就是镀不了那么准，镀成这样已经很不错了，可以在设计的时候根据这个调整下半高宽度 (2026-06-05 18:45)  X <f8,n  
    t| g4m[kr  
    好的我试试谢谢大佬
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