VirtualLab Fusion干涉检测技术|干涉原理分析及光学系统建模 > }fw7 X
时间地点 iOrpr,@
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司(微信公众号:讯技光电INFOTEK) xcM*D3
苏州黉论教育咨询有限公司(微信公众号:honglun-seminary) lN~V1(1B
课程时长:上海场2026/6/23(二)-6/24(三) `|`Qrv4}
深圳场2026/10/15(四)-10/16(五) J.Fy0W@+k4
地点:上海 | 深圳 2H9;4>ss
课程讲师:讯技光电工程团队成员 dxi5p!^^9
课程费用:3000RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) kNk$[Yfs
课程简介: Ka/ *Z4"
纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、行射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 nvbKW.[<f{
干涉系统被广泛地应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。该课程无需软件基础。 |w+N(wcJ
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课程大纲: Kd!.sB/%
1. VirtualLab Fusion软件介绍 BN%;AQV
Ø 光之数字模型平台原理介绍 fWs @ZCt
Ø 电磁场的表达形式 kK~,?l
Ø VirtualLab Fusion用户界面的基础操作 N9cCfB\`
2. 基础知识简介 |))O3]-
Ø 干涉发生的条件 _ K Ix7
Ø 杨氏双缝干涉实验特性 cH48)
Ø 激光迈克尔逊干涉--非序列追迹和参数扫描功能介绍 g>pvcf(
3. 干涉测量系统建模 py }`thx
Ø 利用FP腔研究钠原子D线光谱 9$*O ^
Ø 光学相干层析扫描系统 Z/G?wD|B
Ø Inces - Gaussian光束产生涡旋阵列激光光束的观测 DIBoIWSuR
Ø 利用剪切干涉法的准直测量 SX]uIkw
Ø 基于菲索干涉仪的面型检测 Bdr'd? u<A
Ø Mirau干涉仪 Pr'Ij
Ø 基于零位检测的CGH设计 svvl`|n%
4. 微观与宏观结合的完整系统仿真 Ox%p"xuP,
Ø 结构光照明的显微镜系统 F[)5A5+:Y
Ø 用于微结构晶圆检测的光学系统 bPA >xAH
Ø 摩尔纹的仿真 2bu > j1h
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