VirtualLab Fusion干涉检测技术|干涉原理分析及光学系统建模 ]4GZ'&m}
时间地点 yl]UUBcQ
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司(微信公众号:讯技光电INFOTEK) <N-=fad]
苏州黉论教育咨询有限公司(微信公众号:honglun-seminary) m r2S!
课程时长:上海场2026/6/23(二)-6/24(三) _ .!aBy%xf
深圳场2026/10/15(四)-10/16(五) Oj-r;Tt_G}
地点:上海 | 深圳 n.I2$._(b
课程讲师:讯技光电工程团队成员 -nGwuEngP
课程费用:3000RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) /ISLVp%H
课程简介: 6+)x7g1PL
纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、行射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 X\mz+al>[
干涉系统被广泛地应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。该课程无需软件基础。 (M8hy4Ex
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课程大纲: !3?yG
1. VirtualLab Fusion软件介绍 *:[b'D!A
Ø 光之数字模型平台原理介绍 Vq U|kv
Ø 电磁场的表达形式 X?R
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Ø VirtualLab Fusion用户界面的基础操作 Hh@2 m\HA
2. 基础知识简介 ?CFoe$M
Ø 干涉发生的条件 H@4/#V|Uy
Ø 杨氏双缝干涉实验特性 i3d y
Ø 激光迈克尔逊干涉--非序列追迹和参数扫描功能介绍 "]UIz_^'`U
3. 干涉测量系统建模 DU`v J2
Ø 利用FP腔研究钠原子D线光谱 ZqFUPHc
Ø 光学相干层析扫描系统 R|-j]Ne
Ø Inces - Gaussian光束产生涡旋阵列激光光束的观测 Pr2;Kp
Ø 利用剪切干涉法的准直测量 ?y46o2b*)
Ø 基于菲索干涉仪的面型检测 V $>"f(
Ø Mirau干涉仪 <uC<GDO
Ø 基于零位检测的CGH设计 8
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4. 微观与宏观结合的完整系统仿真 %b9fW
Ø 结构光照明的显微镜系统 VRB~7\A5<)
Ø 用于微结构晶圆检测的光学系统 Gn[ *?=Vy
Ø 摩尔纹的仿真 @'Q%Jc(
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