VirtualLab Fusion干涉检测技术|干涉原理分析及光学系统建模 /pZLt)=P
时间地点 [s"3g\L';
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司(微信公众号:讯技光电INFOTEK) R4u=.
苏州黉论教育咨询有限公司(微信公众号:honglun-seminary) @dV'v{:,
课程时长:上海场2026/6/23(二)-6/24(三) mdR:XuRD"t
深圳场2026/10/15(四)-10/16(五) 8E"Ik~
地点:上海 | 深圳 33DP0OBL^
课程讲师:讯技光电工程团队成员 E$; =*0w
课程费用:3000RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) 1+v&SU
课程简介: Mb=vIk{Bf
纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、行射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 P
Ig)h-w?
干涉系统被广泛地应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。该课程无需软件基础。 o-Pa3L=
hS}?"ST|
课程大纲: a33}CVG-e3
1. VirtualLab Fusion软件介绍 i)g=Lew
Ø 光之数字模型平台原理介绍 I.A7H'j
Ø 电磁场的表达形式 4<)%Esyb
Ø VirtualLab Fusion用户界面的基础操作 +^YXqOXU
2. 基础知识简介 nellN}jYsM
Ø 干涉发生的条件 DcE)6z#
Ø 杨氏双缝干涉实验特性 #"fBF/Q
Ø 激光迈克尔逊干涉--非序列追迹和参数扫描功能介绍 q3adhY9|)0
3. 干涉测量系统建模 mBSa*s)
Ø 利用FP腔研究钠原子D线光谱 -gefdx6ES
Ø 光学相干层析扫描系统 M5s>;q)
Ø Inces - Gaussian光束产生涡旋阵列激光光束的观测 3~}G~ t
Ø 利用剪切干涉法的准直测量 "qjkwf)\
Ø 基于菲索干涉仪的面型检测 $Mm=5K%
Ø Mirau干涉仪 P%
_cIR
Ø 基于零位检测的CGH设计 O%;H#3kn&s
4. 微观与宏观结合的完整系统仿真 y{+$B
Y$_
Ø 结构光照明的显微镜系统 \:9dt8(-U
Ø 用于微结构晶圆检测的光学系统 X@|'#%
Ø 摩尔纹的仿真 #g*U\y
KSnU;B6w>
有兴趣学习的朋友可加工作号微信18019382784