VirtualLab Fusion干涉检测技术|干涉原理分析及光学系统建模 9[{q5
时间地点 :'t"kS
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司(微信公众号:讯技光电INFOTEK) jz'%(6#'gW
苏州黉论教育咨询有限公司(微信公众号:honglun-seminary) k"dE?v\cG
课程时长:上海场2026/6/23(二)-6/24(三) B$=1@
深圳场2026/10/15(四)-10/16(五) ~Gg19x.#uW
地点:上海 | 深圳 brE%/%!e
课程讲师:讯技光电工程团队成员 r+]a
课程费用:3000RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) T?n [1%K
课程简介: YS9)%F=X
纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、行射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 wc6#C>=F
干涉系统被广泛地应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。该课程无需软件基础。 M(^IRI-
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课程大纲: 5U_ar
1. VirtualLab Fusion软件介绍 M;-FW5O't
Ø 光之数字模型平台原理介绍 H6#SP~V
Ø 电磁场的表达形式 ^y&2N
Ø VirtualLab Fusion用户界面的基础操作 +ZwTi!W
2. 基础知识简介 }sZy |dd
Ø 干涉发生的条件 >Y3zO 2Cr
Ø 杨氏双缝干涉实验特性 1{xkAy0
Ø 激光迈克尔逊干涉--非序列追迹和参数扫描功能介绍 ='/#G0W
3. 干涉测量系统建模 ,;=
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Ø 利用FP腔研究钠原子D线光谱 up3mum
Ø 光学相干层析扫描系统 + L5
Ø Inces - Gaussian光束产生涡旋阵列激光光束的观测 kvN6K6
Ø 利用剪切干涉法的准直测量 tN)Vpb\J
Ø 基于菲索干涉仪的面型检测 :d~&Dt<c
Ø Mirau干涉仪 w/0;N`YB
Ø 基于零位检测的CGH设计 H,fVF837
4. 微观与宏观结合的完整系统仿真 '(:R-u!pp
Ø 结构光照明的显微镜系统 dfeN_0`-
Ø 用于微结构晶圆检测的光学系统 1N8YD .3
Ø 摩尔纹的仿真 ^F"eHUg
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