VirtualLab Fusion干涉检测技术｜干涉原理分析及光学系统建模 d[ 7B,l:RN
时间地点 rUL_=>3
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电INFOTEK） Jdc{H/10
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） 9>I&Z8J$M
课程时长：上海场2026/6/23（二）-6/24（三） *?v_AZ
深圳场2026/10/15（四）-10/16（五） b:6NVHb%
地点：上海 | 深圳 V }?MP-.c
课程讲师：讯技光电工程团队成员 ??u*qO:p
课程费用：3000RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) Z,Z4Sp
课程简介： "!F%X %/
纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、行射等)，以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 R|u2ga ~
干涉系统被广泛地应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。该课程无需软件基础。 \Hs*46@TC
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课程大纲： 99G'`NO
1. VirtualLab Fusion软件介绍 *+|,rcI
Ø 光之数字模型平台原理介绍 h q|I%>y
Ø 电磁场的表达形式 {IgL H`@
Ø VirtualLab Fusion用户界面的基础操作 |m p~d<&
2. 基础知识简介 mQka?_if)
Ø 干涉发生的条件 92 oUQ EK
Ø 杨氏双缝干涉实验特性 Krw' |<
Ø 激光迈克尔逊干涉--非序列追迹和参数扫描功能介绍 1&.q#,EMn(
3. 干涉测量系统建模 JV`"kk/
Ø 利用FP腔研究钠原子D线光谱 qvs&*lBY
Ø 光学相干层析扫描系统 Svl; Ul
Ø Inces - Gaussian光束产生涡旋阵列激光光束的观测 Zb4+zps^-
Ø 利用剪切干涉法的准直测量 ]p-x ds#d
Ø 基于菲索干涉仪的面型检测 xMr=tU1C
Ø Mirau干涉仪 RE%2 5t|
Ø 基于零位检测的CGH设计 uy'qIq
4. 微观与宏观结合的完整系统仿真
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Ø 结构光照明的显微镜系统 D_)N!,i
Ø 用于微结构晶圆检测的光学系统 [fZhfZ)<
Ø 摩尔纹的仿真 qvC 2BQ
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有兴趣学习的朋友可加工作号微信18019382784
