VirtualLab Fusion干涉检测技术｜干涉原理分析及光学系统建模 #.K&]OV/88
时间地点 Xc<9[@
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电INFOTEK） 5{=MUU=
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） x?$Y<=vT
课程时长：上海场2026/6/23（二）-6/24（三） NWcF9z%@
深圳场2026/10/15（四）-10/16（五） %[;KO&Ga
地点：上海 | 深圳 rJ*WxOoS{
课程讲师：讯技光电工程团队成员 .j,&/y&
课程费用：3000RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) unB "dE
课程简介： SQRz8,sqkw
纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、行射等)，以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 Msdwv.jM
干涉系统被广泛地应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。该课程无需软件基础。 F .w#AV
+w /o
课程大纲： ` OK
}q
1. VirtualLab Fusion软件介绍 oz r+6z
Ø 光之数字模型平台原理介绍 ?Io2lFvI@Y
Ø 电磁场的表达形式 \p |!=H@
Ø VirtualLab Fusion用户界面的基础操作 }jXUd=.Nu
2. 基础知识简介 m) 2U-3*iX
Ø 干涉发生的条件 U%olH >1K
Ø 杨氏双缝干涉实验特性 uSbg*OA
Ø 激光迈克尔逊干涉--非序列追迹和参数扫描功能介绍 g9Ll>d)tE3
3. 干涉测量系统建模 {RO=4ba{J
Ø 利用FP腔研究钠原子D线光谱 jV 8><5C
Ø 光学相干层析扫描系统 kE|#mI[>
Ø Inces - Gaussian光束产生涡旋阵列激光光束的观测 od|.E$B
Ø 利用剪切干涉法的准直测量 9dv~WtH>5
Ø 基于菲索干涉仪的面型检测 !pXz-hxKT
Ø Mirau干涉仪 !r, d rb
Ø 基于零位检测的CGH设计 IT "jtV
4. 微观与宏观结合的完整系统仿真 k#M W>
Ø 结构光照明的显微镜系统 <>GyG- q
Ø 用于微结构晶圆检测的光学系统 E ORAx
Ø 摩尔纹的仿真 _E 8SX
v
>TJ$Z3
有兴趣学习的朋友可加工作号微信18019382784
