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]#7Y@Yo 内容简介 hjp?/i%TQ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 [@FeRIu8 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 3L!&~'.Ro 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ^[\53\R~ O>):^$-K% 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 +&zuI 目录 K'rs9v"K| Preface 1 [t=+$pf(- 内容简介 2 #&8pp8wd,} 目录 i |(w#NE5 1 引言 1 EV,NJ3V 2 光学薄膜基础 2 F-\8f(\ 2.1 一般规则 2 /t 6u"I~ 2.2 正交入射规则 3 X1z0'gvh 2.3 斜入射规则 6 ,'{B+CHoS 2.4 精确计算 7 _j<M} 2.5 相干性 8 -Aym+N9 2.6 参考文献 10 v5bb|o[{K 3 Essential Macleod的快速预览 10 /ykxVCvAt 4 Essential Macleod的特点 32 9l^ 4.1 容量和局限性 33 Q+js2?7^ 4.2 程序在哪里? 33 kX .1#%Ex 4.3 数据文件 35 3bL2fsn5 4.4 设计规则 35 o>rlrqr?_ 4.5 材料数据库和资料库 37 >33b@) 4.5.1材料损失 38 <EN[s 4.5.1材料数据库和导入材料 39 (2\ekct ^ 4.5.2 材料库 41 YZtA:>;p 4.5.3导出材料数据 43 ^aM/BS\ 4.6 常用单位 43 0YRYCO$ 4.7 插值和外推法 46 r|BKp,u9 4.8 材料数据的平滑 50 b020U>)v 4.9 更多光学常数模型 54 | BWK"G 4.10 文档的一般编辑规则 55 3A/MFQ#2 4.11 撤销和重做 56 qvE[_1QCc 4.12 设计文档 57 1`JN 4.10.1 公式 58 -ns a3P 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ;j\$[4W.i 4.10.3 沉积密度 59 \bmboNe 4.10.4 平行和楔形介质 60 q$*_C kT 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 3'uES4+r 4.10.4 性能 61 {YLJKu!M 4.10.5 保存设计和性能 64 >d[vHyA~!D 4.10.6 默认设计 64 zQ^[=siZ} 4.11 图表 64 0~5}F^8[L 4.11.1 合并曲线图 67 *jSc&{s~ 4.11.2 自适应绘制 68 bGnJ4R3J 4.11.3 动态绘图 68 w|*G`~l09 4.11.4 3D绘图 69 TbM*?\7 4.12 导入和导出 73 h0QQP 4.12.1 剪贴板 73 F9%VyQf 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 yAkN2 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 qiJ;v1 4.13 背景 77 Ybiz]1d 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 J, U~.c 4.15 生成Rugate 84 5]ob;tAm 4.16 参考文献 91 /P}tgcs 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 l),13"?C( 5.1 Jobs 92 "Z?":|%7 5.2 创建一个新Job(工作) 93 itMc!bUQ 5.3 输入材料 94 !H.lVA 5.4 设计数据文件夹 95 KAEpFobYo 5.5 默认设计 95 {]N?DmF 6 细化和合成 97 +a@SdWf 6.1 优化介绍 97 u3!!_~6,z 6.2 细化 (Refinement) 98 \K=PIcH 6.3 合成 (Synthesis) 100 /'+JP4mK 6.4 目标和评价函数 101 $l"(tB7d 6.4.1 目标输入 102 HYa!$P3}[ 6.4.2 目标 103 }/FM#Xh 6.4.3 特殊的评价函数 104 +& Qqu`)?F 6.5 层锁定和连接 104 2Rt ZTn 6.6 细化技术 104 e.h:9`"* 6.6.1 单纯形 105 9 peB+URV 6.6.1.1 单纯形参数 106 ]c+'SJQ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 $$>,2^qr&L 6.6.2.1 Optimac参数 108 c(JO;=,@9 6.6.3 模拟退火算法 109 6-}9m7# Y 6.6.3.1 模拟退火参数 109 uf3 gVS_h= 6.6.4 共轭梯度 111 0+h?Bk 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 j
KK48S 6.6.5 拟牛顿法 112 wpmtv325 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 0nn#U 6.6.6 针合成 113 RH'R6 6.6.6.1 针合成参数 114 Dn!V)T 6.6.7 差分进化 114 y['icGU6 6.6.8非局部细化 115 L1+cv;t 6.6.8.1非局部细化参数 115 |a3b2x, 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ?!vW&KJZx 6.7.1 细化 116 ?os0JQVB 6.7.2 合成 117 ]kvE+m&p}^ 6.8 参考文献 117 !%=k/|# 7 导纳图及其他工具 118 evP`&23tP 7.1 简介 118 Vngi8%YWp 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 IRY2H#:$ 7.2.1 四分之一波长规则 119 ,+{ 43;a 7.2.2 导纳图 120 Ha\ hQ'99 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 3M`J.> 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 5$w1[}UUd 7.5 斜入射导纳图 141 JJa?"82FXZ 7.6 对称周期 141 b*7i&q'H 7.7 参考文献 142 <9vkiEo 8 典型的镀膜实例 143 'ZZ/:MvQa 8.1 单层抗反射薄膜 145 W[DB!ue 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 % *hBrjbj 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 H2p;J#cv@ 8.4 W-膜层 148 wVB8PO8 8.5 V-膜层 149 VI{1SIhfa 8.6 V-膜层高折射基底 150 l0V@19Ec 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 6ZJQ '9f 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 %0'f`P6 8.9 四层抗反射薄膜 153 qKXn=J/0tA 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 vF1$$7k 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 uNDkK o<M 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 T9 1Iz+j 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 !LA#c' 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 hCrgN?Mz 8.15十五层宽带抗反射膜 159 O jmz/W 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
_L ].n)b 8.17 1/4波长堆栈 162 *{bqHMd4L 8.18 陷波滤波器 163 w.jATMJ)F 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 L K$hV"SYb 8.20 褶皱 165 nNr3'6lz 8.21 消偏振分光器1 169 Y,r2m nq 8.22 消偏振分光器2 171 ubw ]}sfM# 8.23 消偏振立体分光器 172 ?T"crX 8.24 消偏振截止滤光片 173 |k0VJi 8.25 立体偏振分束器1 174 Lj#6K@u@Z 8.26 立方偏振分束器2 177 %]` W sG 8.27 相位延迟器 178 g$qh(Z_s 8.28 红外截止器 179 62q-7nV 8.29 21层长波带通滤波器 180 6Xa2A6 8.30 49层长波带通滤波器 181 Phczf 8.31 55层短波带通滤波器 182 B^Q#@[T 8.32 47 红外截止器 183 e#
DAa 8.33 宽带通滤波器 184 <f%9w] 8.34 诱导透射滤波器 186 !E8JpE|z# 8.35 诱导透射滤波器2 188 )_ y{^kn3^ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 8MdKH7 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ,o`qB81 8.35 增益平坦滤波器 193 {>qCZ#E5WO 8.38 啁啾反射镜 1 196 K':f!sZ&2 8.39 啁啾反射镜2 198 gDrqs>8 8.40 啁啾反射镜3 199 r]yq
#T`z 8.41 带保护层的铝膜层 200 XN Y(@ 8.42 增加铝反射率膜 201 :zCm$@ 8.43 参考文献 202 0WFZx
Ad" 9 多层膜 204 UkC\[$-"\ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 hH\(>4l 9.2 内部透过率 204 #'[ f^xgJ 9.3 内部透射率数据 205 [O3R(`<e5 9.4 实例 206 LLMkv!%D 9.5 实例2 210 a;(:iMCi 9.6 圆锥和带宽计算 212 5"sF#Y& 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 pGC`HTo| 10 光学薄膜的颜色 216 Kr<O7t0X 10.1 导言 216 Oj2[(7mO/ 10.2 色彩 216 Mo/xEB/O 10.3 主波长和纯度 220 >/>a++19 10.4 色相和纯度 221 $t]DxMd 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 &&JMw6
&[` 10.6 色差 226 =F`h2 A;a 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 1_'ZbZv4h 10.8 颜色渲染指数 234 LZeR.8XM> 10.9 色差计算 235 3+Q6<MS
q 10.10 参考文献 236 Vo\d&}Q 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 1Dbe0u 11.1 短脉冲 238 h(Z7a%_ 11.2 群速度 239 *?uF&( 0 11.3 群速度色散 241 F"q3p4-<> 11.4 啁啾(chirped) 245 /xmd]XM=_ 11.5 光学薄膜—相变 245 o)$sZ{` =" 11.6 群延迟和延迟色散 246 i|<*EXB" 11.7 色度色散 246 mHP1.Z` 11.8 色散补偿 249 pD]Ry"
ZG 11.9 空间光线偏移 256 q/[)mr|~ 11.10 参考文献 258 .sLx6J% 12 公差与误差 260 '?d[ ip 12.1 蒙特卡罗模型 260 {BJxRH"&6* 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Qcw/>LaL: 12.2.1 误差工具 267 H=dj\Br` 12.2.2 灵敏度工具 271 zIL.R#|D= 12.2.2.1 独立灵敏度 271 v4&*iT 12.2.2.2 灵敏度分布 275 P -Pt{: 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 qP"m819m 12.3 参考文献 276 .{Xi&[jw 13 Runsheet 与Simulator 277 Z/0M9 Q% 13.1 原理介绍 277 fF9vV. } 13.2 截止滤光片设计 277 0I.7I#'3O 14 光学常数提取 289 2]7nw1& 14.1 介绍 289 6 2LZ}yn_" 14.2 电介质薄膜 289 CV` I. 14.3 n 和k 的提取工具 295 l-mUc1.S 14.4 基底的参数提取 302 rlds-j'' 14.5 金属的参数提取 306 :!R+/5a 14.6 不正确的模型 306 u^`B#b' 14.7 参考文献 311 shi#K<gVC 15 反演工程 313 6L2.88 i 15.1 随机性和系统性 313 ThHK1{87X} 15.2 常见的系统性问题 314 `527vK
6 15.3 单层膜 314 dkXK0k 15.4 多层膜 314 k`N)-`O7 15.5 含义 319 4Iz~3fqB7 15.6 反演工程实例 319 rUj]6j=e 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 K(_nfE{ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 E;+3VJ+F" 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 O|8p # 16.1 光学性质的热致偏移 329 0iwx$u7[ 16.2 应力工具 335 LOp<c<+aW 16.3 均匀性误差 339 HK }C<gg 16.3.1 圆锥工具 339 YS;Ql\4 16.3.2 波前问题 341 xL mo?Y* 16.4 参考文献 343 En[cg 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 <%|2yPb] 17.1 引言 345 M*t{?o/t; 17.2 操作数 345 :#+VH_%N 18 如何在Function中编写脚本 351 GU_R6Wt+ 18.1 简介 351 A$
s4Q0Mf 18.2 什么是脚本? 351 h'wI/Z_' 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 lwa 18.4 基础 352 R7vO,kZ6Q 18.4.1 Classes(类别) 352
B[8 18.4.2 对象 352 b,s T[!X[ 18.4.3 信息(Messages) 352 S25&UwUw 18.4.4 属性 352 ;Lz96R@} 18.4.5 方法 353 p0[
%+n% 18.4.6 变量声明 353 TJ+yBMd*% 18.5 创建对象 354 o@"H3
gz 18.5.1 创建对象函数 355 2jA-y!(e 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ZXp=QH+f 18.5.3 丢弃对象 356 _%Jqyc"- 18.5.4 总结 356 58WL8xu 18.6 脚本中的表格 357 2b2/jzO}J 18.6.1 方法1 357 ^xFZ;Yf 18.6.2 方法2 357 @*!8 18.7 2D Plots in Scripts 358 ]M#_o] 18.8 3D Plots in Scripts 359 06L/i, 18.9 注释 360 H htAD Y 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 E7ixl~ 18.11 一个更高级的脚本 362 HPT$)NeNc 18.12 <esc>键 364 V
D-,)f 18.13 包含文件 365 iku) otUc 18.14 脚本被优化调用 366 v,
9M AZ, 18.15 脚本中的对话框 368 aNw8][ 18.15.1 介绍 368 ~^
Q`dJL 18.15.2 消息框-MsgBox 368 66!cfpM 18.15.3 输入框函数 370 S }mqK|! 18.15.4 自定义对话框 371 K8f;AK 18.15.5 对话框编辑器 371 HOBM?|37CU 18.15.6 控制对话框 377 yKgA"NaM 18.15.7 更高级的对话框 380 p%ek)tT 18.16 Types语句 384 CB\E@u, 18.17 打开文件 385 xXQDHc-Ba 18.18 Bags 387 p78X,44xg 18.13 进一步研究 388 } U\n:@:2B 19 vStack 389 gWL'Fl}H 19.1 vStack基本原理 389 C/U^8,6\n 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 >+LFu?y 19.3 五棱镜 393 9Eu.Y 19.4 光束距离 396 -lAX-W0 19.5 误差 399 J{`G= 19.6 二向分色棱镜 399 t&*X~(Yb! 19.7 偏振泄漏 404 4'_PLOgnX 19.8 波前误差—相位 405 x(ue
|UG 19.9 其它计算参数 405 G&y< lh 20 报表生成器 406 Z]jm.'@z@ 20.1 入门 406 2guWWFS 20.2 指令(Instructions) 406 3+ JkV\AF 20.3 页面布局指令 406 lpi^<LQ@l 20.4 常见的参数图和三维图 407 -T$%MX 20.5 表格中的常见参数 408 _=S4H 20.6 迭代指令 408 {)=h 20.7 报表模版 408 W"MwpV 20.8 开始设计一个报表模版 409 xy;u"JY* 21 一个新的project 413
qp;eBa 21.1 创建一个新Job 414 >PHin%# 21.2 默认设计 415 \W:~;GMeD 21.3 薄膜设计 416 2)cq!Zv 21.4 误差的灵敏度计算 420 ROqz$yY 21.5 显色指数计算 422 41dB4Td5t 21.6 电场分布 424 jJc:%h$|2 后记 426 )i|0Ubn[| 对书籍感兴趣可以加工作号微信18019382784
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