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qzj.N$9] 内容简介 {RGQX"k Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 sYq:2Wn>8Q 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 z`qb>Y"xf3 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 cP",szcY n^q%_60H 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 2 \<u;9 目录 ~.tl7wKkR/ Preface 1 x?UAj8z6 内容简介 2 Pn,>eD*g 目录 i )Q 5 x% 1 引言 1 ~<.{z]*O 2 光学薄膜基础 2 !kG |BJ$j 2.1 一般规则 2 k|czQ"vaI 2.2 正交入射规则 3 n$lVmQ6 2.3 斜入射规则 6 7KHQ0 2.4 精确计算 7 zs(P2$ 2.5 相干性 8 74
WKy 2.6 参考文献 10 1V wcJd 3 Essential Macleod的快速预览 10 Pl. y9g~ 4 Essential Macleod的特点 32 !4a#);`G 4.1 容量和局限性 33 f}~=C2R1<! 4.2 程序在哪里? 33 ~_hA{$ 4.3 数据文件 35 Ma'#5)D 4.4 设计规则 35 cyLl,OA 4.5 材料数据库和资料库 37 S0Ur{!9\#^ 4.5.1材料损失 38 3-=AmRxW't 4.5.1材料数据库和导入材料 39 P5H_iH 4.5.2 材料库 41 x=Aq5*A0 4.5.3导出材料数据 43 *8J0yv 4.6 常用单位 43 NBXhcfF 4.7 插值和外推法 46 9Trk&OB 4.8 材料数据的平滑 50 '`YZJ 4.9 更多光学常数模型 54 C;5`G
*e 4.10 文档的一般编辑规则 55 \#PZZH% 4.11 撤销和重做 56 +!GJ 4.12 设计文档 57 jJaMkF;f 4.10.1 公式 58 l1#.rg 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 H+562W 4.10.3 沉积密度 59 F @<h:VVP 4.10.4 平行和楔形介质 60 q9H\ $ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 j7^A%9 4.10.4 性能 61 k+%&dEE|vH 4.10.5 保存设计和性能 64 bEB2q\|Je 4.10.6 默认设计 64 ?S'aA!/; 4.11 图表 64 <@# g2b 4.11.1 合并曲线图 67 )+"5($~ 4.11.2 自适应绘制 68 uts>4r>+ 4.11.3 动态绘图 68 :
h(Z\D_ 4.11.4 3D绘图 69 Yg?BcY\ 4.12 导入和导出 73 Yo1]HG(kXB 4.12.1 剪贴板 73 pH2/."zE< 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 C0K:
ffv;< 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 H2oxD$s 4.13 背景 77
*Ojl@N 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 &S`g& 4.15 生成Rugate 84 FrUqfTi+W 4.16 参考文献 91 "G-h8IN^O 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 0WfnX>(C7R 5.1 Jobs 92 E]8uj8K3] 5.2 创建一个新Job(工作) 93 xmEom 5.3 输入材料 94 eX>*}pI 5.4 设计数据文件夹 95 SSxz1y 5.5 默认设计 95 $.t>* Bq 6 细化和合成 97 Q-!gO 6.1 优化介绍 97 +zd/< 6.2 细化 (Refinement) 98 YF-A8gXS 6.3 合成 (Synthesis) 100 o$Ylqb# 6.4 目标和评价函数 101
)#8g<]q 6.4.1 目标输入 102 xkw=os 6.4.2 目标 103 'l`prp3 6.4.3 特殊的评价函数 104 @tPr\F 6.5 层锁定和连接 104
K,JK9)T 6.6 细化技术 104 jVLJqWP'! 6.6.1 单纯形 105 a|=^ 6.6.1.1 单纯形参数 106 zH Z;Y^{+ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 a??8)=0|} 6.6.2.1 Optimac参数 108 ^a`3)WBv8 6.6.3 模拟退火算法 109 _9t1aP5 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Cc*R3vHM6 6.6.4 共轭梯度 111 3^nH>f-Y 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 dCS f$5 6.6.5 拟牛顿法 112 rjiHP;-t1 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 gC7P o 6.6.6 针合成 113 Ef?hkq7X< 6.6.6.1 针合成参数 114 ;x2o|#`b 6.6.7 差分进化 114 lZ7
$DGe 6.6.8非局部细化 115 <G|i5/|7 6.6.8.1非局部细化参数 115 "oNl!<ep 6.7 我应该使用哪种技术? 116 xpO;V}M| 6.7.1 细化 116 \o/eF& 6.7.2 合成 117 ;Vc|3 6.8 参考文献 117 0^dYu/i5 7 导纳图及其他工具 118 \>pm (gF 7.1 简介 118 $H[q5(_~ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 >$9}" 7.2.1 四分之一波长规则 119 OA=~i/n~ 7.2.2 导纳图 120 b=xn(HE8| 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 a*LfT<hmU3 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 DpvHIE:W 7.5 斜入射导纳图 141 j*gJP
! 7.6 对称周期 141 7(X
z%v 7.7 参考文献 142 NU?<bIQ 8 典型的镀膜实例 143 c AO:fb7 8.1 单层抗反射薄膜 145 aA52Li 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 (AtyM?* 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 2nC,1%kxhq 8.4 W-膜层 148 A9 g%> 8.5 V-膜层 149 ]uypi#[ 8.6 V-膜层高折射基底 150 YS){N=g&' 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 >(ip-R 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 xlJWCA*> 8.9 四层抗反射薄膜 153 &Q;sbI} 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 P
"IR3= 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ;>jEeIlT 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ;h+~xxu=X 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 sH;_U)ssH 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 }.E^_` 8.15十五层宽带抗反射膜 159 e%L[bGW' 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 YfB)TK\W9/ 8.17 1/4波长堆栈 162 $.,B2} ' 8.18 陷波滤波器 163 @-Ql6k 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 (@5`beEd 8.20 褶皱 165 r>FwJm! 8.21 消偏振分光器1 169 2;WbXc!#! 8.22 消偏振分光器2 171 65qqs|&w;[ 8.23 消偏振立体分光器 172 9l&q} 8.24 消偏振截止滤光片 173 [. 9[?8 8.25 立体偏振分束器1 174 mc8Q2eQat} 8.26 立方偏振分束器2 177 !pw)sO~ 8.27 相位延迟器 178 'xj5R=V 8.28 红外截止器 179 A2:}bb~H 8.29 21层长波带通滤波器 180 Vez8~r3 8.30 49层长波带通滤波器 181 bV&9>fC 8.31 55层短波带通滤波器 182 [UZr|F
8.32 47 红外截止器 183 cI\[)5& 8.33 宽带通滤波器 184 =dDPQZEin 8.34 诱导透射滤波器 186 c_*w<vJ-' 8.35 诱导透射滤波器2 188 GIxs>E'X 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ?@$xLUHR4 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 =X7kADRq 8.35 增益平坦滤波器 193 G/Sp/I<d 8.38 啁啾反射镜 1 196 mLZ1u\7W 8.39 啁啾反射镜2 198 hFv{?v 8.40 啁啾反射镜3 199 I{g.V|+x 8.41 带保护层的铝膜层 200 ^wd@mWxx 8.42 增加铝反射率膜 201 zG6l8%q'UE 8.43 参考文献 202 *
&:_Vgu 9 多层膜 204 ^_Hf}8H7] 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 f|q/2}Bqb 9.2 内部透过率 204 uW!XzX[' 9.3 内部透射率数据 205 ==m[t-
9x 9.4 实例 206 WSH[*jMA 9.5 实例2 210 . &j+& 9.6 圆锥和带宽计算 212 z eT`kZ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 "UMaZgI 10 光学薄膜的颜色 216 H575W"53 10.1 导言 216 "Bf8mEmp 10.2 色彩 216 +mVAmG@ 10.3 主波长和纯度 220 OA3J(4!"W 10.4 色相和纯度 221 mEd2f^R 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 'l.tV7 10.6 色差 226 T[|#DMg$F 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 tjx8UgSi 10.8 颜色渲染指数 234 WDIin6u- 10.9 色差计算 235 )DXt_leLg 10.10 参考文献 236 !\7`I}: 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Mc@9ivwL# 11.1 短脉冲 238 Qi`3$<W> 11.2 群速度 239 JKM(fX+ 11.3 群速度色散 241 gA(npsUHI 11.4 啁啾(chirped) 245 R|\eBnfI 11.5 光学薄膜—相变 245 "i;.> 11.6 群延迟和延迟色散 246
]LC4rS 11.7 色度色散 246 M
co:eE 11.8 色散补偿 249 5Z!$?J4Rl 11.9 空间光线偏移 256 0#J~@1Gf 11.10 参考文献 258 cRnDAn#42 12 公差与误差 260 A{zqr^/h 12.1 蒙特卡罗模型 260 lw9jk`7^ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Ea@0>_U| 12.2.1 误差工具 267 ZR}v_]l^ 12.2.2 灵敏度工具 271 et
1HbX 12.2.2.1 独立灵敏度 271 o7!A(Eu 12.2.2.2 灵敏度分布 275 IEy$2f>Ns 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 zas&gsl-; 12.3 参考文献 276 jV sH 13 Runsheet 与Simulator 277 `}),wBq 13.1 原理介绍 277 ; CCg]hX 13.2 截止滤光片设计 277 , lR(5ZI 14 光学常数提取 289 *m"9F'(Sd 14.1 介绍 289 ta)gOc)r
R 14.2 电介质薄膜 289 gFTU9k< 14.3 n 和k 的提取工具 295 ~JL
qh 14.4 基底的参数提取 302 )4ek!G]Rb 14.5 金属的参数提取 306 &gXL{cK'% 14.6 不正确的模型 306 @GKDSS4jv 14.7 参考文献 311 pWRdI_ 15 反演工程 313 }+ KM"+@$< 15.1 随机性和系统性 313 4@0aN6Os 15.2 常见的系统性问题 314 |D)CAQn, 15.3 单层膜 314 2.Vrh@FNRo 15.4 多层膜 314 |M7C=z=' 15.5 含义 319 ,"`20.Lv 15.6 反演工程实例 319 mw 5>[ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 %Y ZCdS 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ,'(|,f42 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 b;QgL_w 16.1 光学性质的热致偏移 329 E"E(<a 16.2 应力工具 335 YdCl 16.3 均匀性误差 339 h2zSOY{su 16.3.1 圆锥工具 339 7I[[S!((s 16.3.2 波前问题 341 R1LirZlzJ 16.4 参考文献 343 F7=9> , 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 `C>h]H( 17.1 引言 345 $=plAi 17.2 操作数 345 *,X)tZ6VX 18 如何在Function中编写脚本 351 E^rBs2;9 18.1 简介 351 _E?tVx.6 18.2 什么是脚本? 351 R9A:"sJ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 2`]c&k;] 18.4 基础 352 ELwXp|L 18.4.1 Classes(类别) 352 \2/X$x<?X 18.4.2 对象 352 n8EKTuy 18.4.3 信息(Messages) 352 z#Jw?K_ 18.4.4 属性 352 i`@cVYsL 18.4.5 方法 353 P[ o"%NZ' 18.4.6 变量声明 353 !6|_`l>G, 18.5 创建对象 354 2*D2jw 18.5.1 创建对象函数 355 m%J?5rR3 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 [6VM4l" 18.5.3 丢弃对象 356 -4QZ/ * 18.5.4 总结 356 co\?SgE35 18.6 脚本中的表格 357 Mt4]\pMUb 18.6.1 方法1 357 2tK~]0x 18.6.2 方法2 357 <.Tllk@r) 18.7 2D Plots in Scripts 358 my sXgS& |