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    [求助]镀膜新人问题第二弹 [复制链接]

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    离线剑雨剑芒
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-20
    1.中频反应磁控溅射中Ar气和O2气的配比不同，会影响折射率和消光系数吗？ ${e(#bvGZ  
    目前我知道O2气不足会有吸收，是因为镀膜的材料从SIO2变成SIO1.5这样，里面是SIO2与SIO混合体，那如果O2气过量的话，会形成SI2O3与SIO2这样的混合体吗？ Z&J417buk  
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 04-21
    Ar和O不是讲配比的，两个功能不一样。 0-FwHDxw  
    Ar是必须的，没有Ar你无法溅射出材料来。 j:U>V7Kn3~  
    做氧化物才需要用O，也不存在气体过多，多了就自己被抽走了。 _VR4 |)1g  
    还是你抽真空能力太差了，所以没法充足够的气。
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    离线剑雨剑芒
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    只看该作者 2楼 发表于: 前天 15:38
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:Ar和O不是讲配比的，两个功能不一样。 HjnHl-  
    Ar是必须的，没有Ar你无法溅射出材料来。 Td8'z'  
    做氧化物才需要用O，也不存在气体过多，多了就自己被抽走了。 ojyG|Y  
    还是你抽真空能力太差了，所以没法充足够的气。 (2026-04-21 18:20)  T5Pc2R  
    }3)$aI_  
    抽真空能力太差，那抽气不就慢了吗？气充的不是更足了？
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