[求助]镀膜新人问题第二弹 [复制链接]

1.中频反应磁控溅射中Ar气和O2气的配比不同，会影响折射率和消光系数吗？ cR!Mn$m  
目前我知道O2气不足会有吸收，是因为镀膜的材料从SIO2变成SIO1.5这样，里面是SIO2与SIO混合体，那如果O2气过量的话，会形成SI2O3与SIO2这样的混合体吗？ ~) vz`bD1  

ouyuu:Ar和O不是讲配比的，两个功能不一样。 {lNG:o  
Ar是必须的，没有Ar你无法溅射出材料来。 Y(h(Z  
做氧化物才需要用O，也不存在气体过多，多了就自己被抽走了。 GLa_[9 "  
还是你抽真空能力太差了，所以没法充足够的气。 (2026-04-21 18:20)  5IFc"  

osI0m7ws:  
抽真空能力太差，那抽气不就慢了吗？气充的不是更足了？

Ar和O不是讲配比的，两个功能不一样。 aIklAj)=  
Ar是必须的，没有Ar你无法溅射出材料来。 (zIF2qY  
做氧化物才需要用O，也不存在气体过多，多了就自己被抽走了。 JeU1r-i  
还是你抽真空能力太差了，所以没法充足够的气。