[求助]镀膜新人问题第二弹 [复制链接]

1.中频反应磁控溅射中Ar气和O2气的配比不同，会影响折射率和消光系数吗？ %La
C$w_X  
目前我知道O2气不足会有吸收，是因为镀膜的材料从SIO2变成SIO1.5这样，里面是SIO2与SIO混合体，那如果O2气过量的话，会形成SI2O3与SIO2这样的混合体吗？ .j@n6RyN  

Ar和O不是讲配比的，两个功能不一样。 ]$*_2V3VA$  
Ar是必须的，没有Ar你无法溅射出材料来。 F?4'>ZW  
做氧化物才需要用O，也不存在气体过多，多了就自己被抽走了。 ;a77YLTQ  
还是你抽真空能力太差了，所以没法充足够的气。

ouyuu:Ar和O不是讲配比的，两个功能不一样。 Qgi:q  
Ar是必须的，没有Ar你无法溅射出材料来。 6<6_W
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做氧化物才需要用O，也不存在气体过多，多了就自己被抽走了。 EeJ]> 1  
还是你抽真空能力太差了，所以没法充足够的气。 (2026-04-21 18:20)  ],4LvIPD  

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抽真空能力太差，那抽气不就慢了吗？气充的不是更足了？

射频源出来的Ar和O，都是有方向和速度的，这才是有用的。 >i<-rO>kN  
用完以后那些随机布尔运动的气体分子就该抽走，留着就是阻挡那些射频离子。 b.+\qaR  
真空度越差，说明留着没抽走的气体越多，你镀膜就越费劲。 FT=>haN  
zq&lxySa  
就像建筑工地或者工厂，一堆不干活的人阻挡了干活的人的通道或者流水线， *WG}K?"/  
反倒降低了工作效率，不是人越多活干的越快。 ~E~J*R Ze  
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