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摘要 (D{J| rU1Ri 组件内部光场分析器: FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此,通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析(FMM/RCWA)计算任意周期结构,包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化:正向模式,反向模式,或两者结合。 -x|!?u5F ^|2m&2
"CZv5) L<6nM
;d 寻找组件内部光场分析器: FMM 8i)9ho< js%n]$N
)mjGHq2 [\&2& 组件内部光场分析器: FMM是光栅光学设置的专用功能,它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 {@k
, e @ 'U`a4 Qraa0]56 评估模式 q4,/RZhzh WuTkYiF DgB;6Wl G#A6<e/ 评估区域 s^Xs*T@~h Z$zX%w SwM=?< +[4y)y` 光栅类型 xC}' "``s vG\
b` <`wOy[e . i^@v<+ 光栅表面的采样 7zIfsb 0Gu?;]GSv 'pB? zL'S5'<F| 光栅表面的采样 $8SSu|O+x y,w_x,m 2<:dA >1
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