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摘要 \,X)!%6kZ _F`JFMS 组件内部光场分析器: FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此,通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析(FMM/RCWA)计算任意周期结构,包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化:正向模式,反向模式,或两者结合。 %,z;W-#gnY P(2OTfGGx
R"JXWw CadIux^ 寻找组件内部光场分析器: FMM Qc?W;Q+ z_lKq}^~6
g] }! O $e"3^Pa 组件内部光场分析器: FMM是光栅光学设置的专用功能,它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 f.^|2T I1g hgW1g# vk
X+{n 评估模式 &g5PPQ18 4@Db $PHs 7%? bl 3imsIBr 评估区域 Ai[@2A yU -ZSN0Xk Hd\oV^>
jVN06,3z 光栅类型 ] dJ"_ (7b9irL&cn \<`oW> U?{oxy_[ 2 光栅表面的采样 YG8C<g6E7 [pmIQ228 eIF6f&
F _4L6 光栅表面的采样 R-NM ~gp VY8cy2 LS9,:!$
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