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摘要 L?WFm n =;2%a (
组件内部光场分析器： FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此，通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析（FMM/RCWA）计算任意周期结构，包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化：正向模式，反向模式，或两者结合。 eHn7 iuS8
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 ABD)}n=%c CG Y]r.O* 寻找组件内部光场分析器： FMM ms*(9l.hOK
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 } :us:% eU".3`CtY 组件内部光场分析器： FMM是光栅光学设置的专用功能，它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 7UVz p v
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