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摘要 60TM!\ !mZDukfjQ 组件内部光场分析器: FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此,通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析(FMM/RCWA)计算任意周期结构,包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化:正向模式,反向模式,或两者结合。 QUeuN?3X\ `=V p 0tPI
"%}24t% O!!N@Q2g 寻找组件内部光场分析器: FMM 8
XQo iC{(vL0P+
U ,NGV0 ''dS{nQs 组件内部光场分析器: FMM是光栅光学设置的专用功能,它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 }W)b WEYZ(a| Yt[LIn-v: 评估模式 B"YN+So P!Brw72 dGgltY i50E#+E8 评估区域 >?O?U=:< $Qz<:?D }.a{;{y b(oe^jeGz 光栅类型 tD*k
~&?57Sw*m fMIRr5 $l2`@ia" 光栅表面的采样 Pbd[gKX_ /qKA1-R}4
CBO*2?]s denxcDFu/~ 光栅表面的采样 o}DRp4;Ka Llkh
kq_ qfG:vTm
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