切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 29阅读
    • 0回复

    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    6675
    光币
    27524
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 昨天 07:57
    摘要                                                                             a={qA4N  
    -QI`npsnV  
    超构光栅通常由具有空间变化参数纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 ZFuJ2 :  
    g#%FY1xp  
    6`";)T[G9  
     wY_-  
    超构光栅结构和建模 2-c0/?_4  
    g7LW?Ewr  
                                                                            
    Bpo68%dx89  
    z(X6%p0  
    VirtualLab Fusion提供: ,Y8X"~{A  
     Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; :aqskeT  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 0\ w[_H  
    J+NK+,_*M  
    光栅周围介质   LqsJHG  
    *=9#tYn~  
                                                                            
    b-zX3R;  
    UYrzsUjg&  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 N_Ld,J%g  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 Bg0cC  
    • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 "EhO )lR  
    v ]U;5Uo  
    光栅堆栈内部材料 7<o;3gR7Kj  
    vGHYB1=~  
                                                                          
    @CI6$  
    A":b_!sW  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 W8h\ s {  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 5g>kr< K  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 "I FGW4FnL  
    xi. KD  
    单柱几何配置 K/+C6Y?  
    hBE>ea  
                                                                        
    aB!Am +g  
    I8;[DP9  
    柱子的分布                                                                           PSR `8z n  
    ~RAH -]  
    7O^ S.(  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 9?$!=4  
    • 有几种方法可以做到这一点: iX6jvnJ:/  
    • 逐个柱子,手动; VDY1F_Fk  
    • 一次性定义在等距网格; a`iAA1HJ  
    • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 FN EmGz/4  
    • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 J}\]<aC  
    :Ia&,;Gc  
    数值参数设置 v nC&1  
    t+J6P)=  
                                                                          
    xU<lv{m`D  
    /mu4J|[[  
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 dKpa5f7  
    • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 qJt gnk|  
    • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 d( g_y m*  
    3F!+c 8e  
    例1:一维Blazed 超构光栅 iRHQRdij  
    @2*6+w_Ae  
    材料和介质的配 MXV4bgltT  
    i]?xM2(N  
                                                                        
    ]X|G+[Ujv  
    see the full Application Use Case &~f_1<  
    }*R6p?L5  
    柱子几何及分布                                                                           +qf{ '|H  
       (k&aD2PH  
    !OgoV22  
                                                                                     0*x?  
    空间频率数                                                                             M[_I16s  
                                                                               V/}8+Xq  
    *G41%uz  
    ZS_f',kE  
    Uk\U*\.  
    例2:二维光束分离超构光栅 rNyK*Wjt  
    V7_??L%Ct`  
    材料和介质的配置                                                                             i%8 sy  
    ,m]q+7E  
    !;Nh7vG  
    K*FAngIB  
    柱子几何及分布                                                                           rtE,SN  
    I0RWdOK8K  
    dxWw%_Q  
    nTKfwIeg5  
     
    分享到