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    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 03-11
    摘要                                                                             .!! yj,bQz  
    O^ hV<+CX  
    超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 XoOe=V?I )  
    -z94>}Z=  
     Su~`jRN $  
    'ZZ/:MvQa  
    超构光栅结构和建模 -ybupUJcbv  
    {:cA'6f.b  
                                                                                 v4zARE9#  
    To95WG7G  
    VirtualLab Fusion提供： SuSZ,>  
     Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; M,P_xkLp  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 4|UIyDt8  
    )LUl?  
    光栅周围介质   z'*>Tk8h  
    "tIx$?I  
                                                                                 Z )I4U  
    \/%mabLK  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 |,crQ'N'  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 JJr<cZ4]  
    • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 P7!Sc  
    ~Hf,MLMdTf  
    光栅堆栈内部材料 OduTg^R  
    WJWrLu92\U  
                                                                               BH1To&ol  
    *BV .zbGm  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 )sr]}S0  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 -_dgd:or  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 el<nY"c  
     qn .  
    单柱几何配置 4+0Zj+ q";  
    8,Z0J  
                                                                             +( d2hSIF  
    !~#31kL&  
    柱子的分布                                                                           \$I )}  
    ~kga+H  
    <f%9w]  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 !E8JpE|z#  
    • 有几种方法可以做到这一点: )_ y{^kn3^  
    • 逐个柱子，手动; $i hI Hl6'  
    • 一次性定义在等距网格; R.7" ZG  
    • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 L r,$98Dy  
    • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 aNz%vbh\  
    &N#)(rQ1  
    数值参数设置 @ NF8?>!  
    FWj~bn  
                                                                               Hcpw [%(  
    F&\o1g-L  
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 VmW_,  
    • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 U8d  wb  
    • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 x+&&[>-P  
    Cn,dr4J[  
    例1:一维Blazed 超构光栅 6 eBQ9XV  
    />?d 2?  
    材料和介质的配置 lZ|Ao0(  
    DmYm~hzJ  
                                                                             9f "*O j  
    see the full Application Use Case +RM3EvglDQ  
     ;4 &~i  
    柱子几何及分布                                                                           AxeWj%w@  
       %+.]>''a  
    KNn E5f  
                                                                                     ,/KHKLY7  
    空间频率数                                                                             ^ZsME,  
                                                                               P_;oSN|>  
    3ySnAAG  
    ` :2C9,Xu  
    1yo@CaW[\  
    例2:二维光束分离超构光栅 gyPF!"!5dq  
    HTC7fS  
    材料和介质的配置                                                                             |(/"IS]  
    uGv+c.~[j  
     Djzb#M'm  
    qIk6S6  
    柱子几何及分布                                                                           1ayxE(vMcX  
    ,Ya&M@^Z  
    3K'3Xp@A  
     GV9"8M Z6  
     
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