-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-06-16
- 在线时间1977小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 p|9Eue3j2 4IGn,D^ 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 dk>qTY+j5 g?OC-zw
>\4"k4d} >#[,OU} N 超构光栅结构和建模 Mp,aQ0bNS |kK_B
:K
+Jw+rjnP q)Qg'l^f VirtualLab Fusion提供: UR<a7j"@2 Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; q>f|1Pf Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 O0RV>Ml'& y*H rv 光栅周围介质 4D=^24f`0 !Y^3% B%
`RHhc{ 88g|(k/ • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 B
x-"<^< • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 g(QT"O!dY • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 /v8yE9N_ d<_#Q7]I4 光栅堆栈内部材料 , .]1N:
x=YV*
T0v{qQ n@_aTY • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 [Ufx=BPx3 • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 &e)V!o@wJV • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 ~sMEfY,p hOj(*7__ 单柱几何配置 vR*p1Kq: .!Q*VTW
Ng|c13A= wq:"/2p1 柱子的分布 <*[D30< >SHP,><H/ Ex-?[Hq • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 ~djHtd> • 有几种方法可以做到这一点: T
)!kJ;vc • 逐个柱子,手动; Pq3m(+gf • 一次性定义在等距网格; i{biQ|,.sL • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 TxP8&!d • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 <~}NxY\5 $SfYO!n7Q 数值参数设置 dM)x|b3z BI6]{ ZC"
^SWV!rrg Lq]t6o] • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 )R6-]TkA_ • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 CfEACH4_ • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 a/TeBx#yG fb?YDM 例1:一维Blazed 超构光栅 cP^c}e*;NS Ctx{rf_~ 材料和介质的配置 0S#T}ITm4Z w`X0^<Fv
RC~ C} see the full Application Use Case J;GYo|8 2Dw}o;1' 柱子几何及分布
&Y jUoe x:iLBYf ZmAo9>'Kg SYA0Hiw7P 空间频率数 Xk`' m[ tvcM<
e20 Mz: "p. >~*}9y0$ dmPAPCm%y 例2:二维光束分离超构光栅 :&J1#% t _j2q 材料和介质的配置 Dd'J"|jF38 #ba7r
]Xu
KJi8LM }ws(:I^ 柱子几何及分布 hxkwT ?/}-&A" A7R [~ Bk@&k}0
|