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摘要 a={qA4N - QI`npsnV 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 ZFuJ2 : g#%FY1xp
6`";)T[ G9 wY_- 超构光栅结构和建模 2-c0/?_4 g7LW?Ewr
Bpo68%dx89 z(X6%p0 VirtualLab Fusion提供: ,Y8X"~{A Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; :aqskeT Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 0\ w[_H J+NK+,_*M 光栅周围介质 LqsJHG *=9#tYn~
b-zX3R; UYrzsUjg& • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 N_Ld,J%g • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 Bg0cC • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 "EhO )lR v]U;5Uo 光栅堆栈内部材料 7<o;3gR7Kj vGHYB1=~
@CI6$ A":b_!sW • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 W8h\ s { • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。
5g>kr<K • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 "I FGW4FnL xi. KD 单柱几何配置 K/+C6Y? hBE>e a
aB!Am +g I8;[DP9 柱子的分布 PSR`8z n ~RAH -] 7O^ S.( • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 9?$!=4 • 有几种方法可以做到这一点: iX6jvnJ:/ • 逐个柱子,手动; VDY1F_Fk • 一次性定义在等距网格; a`iAA1HJ • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 FNEmGz/4 • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 J}\]<aC :Ia&,;Gc 数值参数设置 vnC&1 t+J6P)=
xU<lv{m`D /mu4J|[[ • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 dKpa5f7 • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 qJt gnk| • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 d( g_y m* 3F!+c 8e 例1:一维Blazed 超构光栅 iRHQRdij @2*6+w_Ae 材料和介质的配置 MXV4bgltT i]?xM2(N
]X|G+[Ujv see the full Application Use Case &~f_1< }*R6p?L5 柱子几何及分布 +qf{ '|H (k&aD2PH !OgoV22 0*x? 空间频率数 M[_I16s V/}8+Xq *G41%uz ZS_f',kE Uk\U*\. 例2:二维光束分离超构光栅 rNyK*Wjt V7_??L%Ct` 材料和介质的配置 i%8 sy ,m]q+7E
!;Nh7vG K*FAngIB 柱子几何及分布 rtE,SN I0RWdOK8K dxWw%_Q nTKfwIeg5
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