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摘要 8iW;y2qF Pa(^}n| 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 pkP?i5, ~i@Y|38C
X_qf"|i C(S'#cm 超构光栅结构和建模 Jm|+-F@I Y^36>1.:
ay1YOfa* Mb"J@5P[4 VirtualLab Fusion提供: }YjX3|8zL= Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; y[>;]R7' Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 9k9_mjLZ sBu=e7 光栅周围介质 "~=mG--I !(qsD+
i.=w]S
j pX/n)q[ • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 h tx;8: • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 _tSAI • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 GFfq+=se V<D.sd< 光栅堆栈内部材料 p>vn7;s2# !icT/5
_8Z_`@0 I6j$X 6u • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 ~ns7O • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 PGYXhwOI • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 l_EM8pL,f )>b.; 单柱几何配置 k4,BNJt'Z C|d\3S\(
e?`5>& Up ?|WoIV. 柱子的分布 4%2~Wi8 =1O<E AgOp.~*Z~V • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 so)"4
SEu • 有几种方法可以做到这一点: I&MY{f • 逐个柱子,手动; U7doU' V/ • 一次性定义在等距网格; Q?8R[i • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 0q.Ujm=,z • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 \\{J'j>{f RletL) 数值参数设置 *?y+e F6o_b4l
`6 /$M!4$ !:|TdYrmj • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 TT50(_8 • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 B;R.# ^@/ • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 "]oO{'1X j=*l$RG 例1:一维Blazed 超构光栅 fMGbODAvY %STliJ 材料和介质的配置 S!Omy:=;i 2-=\~<)
'xhcuVl see the full Application Use Case CM<]ZG7
b !%hH 柱子几何及分布 cTD!B% x 4|mD*o gXonF' "z0zpHXek 空间频率数 @g2cC !(n4|Wd 5Xl/L %1.]c6U }tH[[4tw, 例2:二维光束分离超构光栅 ZDD..j neXeAU 材料和介质的配置 R)M_|ca )I^2k4Cg"
Y4cYZS47 f;&]:2.j 柱子几何及分布 yz-,)GB6 {NPuu?& <+^6}8- p.
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