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    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 03-11
    摘要                                                                             8iW;y2qF  
    Pa(^}n|  
    超构光栅通常由具有空间变化参数纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 pkP?i5 ,  
    ~i@Y|38C  
    X_qf"|i  
    C(S'#cm  
    超构光栅结构和建模 Jm|+-F@I  
    Y^36>1.:  
                                                                            
    ay1YOfa*  
    Mb"J@5P[4  
    VirtualLab Fusion提供: }YjX3|8zL=  
     Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; y[>;]R7'  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 9k9_mjLZ  
    sBu=e7  
    光栅周围介质   "~=mG--I  
    !(q sD+  
                                                                            
    i.=w]S j  
    pX/n)q[  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 h tx;8:  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 _tSAI  
    • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 GFfq+=se  
    V<D.sd<  
    光栅堆栈内部材料 p>vn7;s2#  
    !icT/5  
                                                                          
    _8Z_`@0  
    I6j$X6u  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 ~ns7O  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 PGYXhwOI  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 l_EM8pL,f  
    )>b.;  
    单柱几何配置 k4,BNJt'Z  
    C|d\3S\(  
                                                                        
    e?`5>& Up  
    ?|WoIV.  
    柱子的分布                                                                           4%2~Wi8  
    =1O<E  
    AgOp.~*Z~V  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 so)"4 SEu  
    • 有几种方法可以做到这一点: I&MY{f  
    • 逐个柱子,手动; U7doU'V/  
    • 一次性定义在等距网格; Q?8R[i  
    • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 0q.Ujm=,z  
    • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 \\{J'j>{f  
    RletL)  
    数值参数设置 *?y+e  
    F6o_b4l  
                                                                          
    `6 /$M!4$  
    !:|TdYrmj  
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 TT50(_8  
    • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 B;R.#^@/  
    • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 "]oO{'1X  
    j=*l$RG  
    例1:一维Blazed 超构光栅 fMGbODAvY  
    %STliJ  
    材料和介质的配 S!Omy:=;i  
    2-=\~<)  
                                                                        
    'xhcuVl  
    see the full Application Use Case CM<]ZG7  
    b !%hH  
    柱子几何及分布                                                                           cTD!B% x  
       4|mD*o  
    gXonF'  
                                                                                     "z0zpHXek  
    空间频率数                                                                             @g2 cC  
                                                                               !(n4|Wd  
    5Xl /L  
    %1.]c6U  
    }tH[[4tw,  
    例2:二维光束分离超构光栅 ZDD..j  
    neXeAU  
    材料和介质的配置                                                                             R)M_|ca  
    )I^2k4Cg"  
    Y4cYZS47  
    f;&]:2.j  
    柱子几何及分布                                                                           yz-,)GB6  
    {NPuu?&  
    <+^6}8-  
    p. R2gl1m  
     
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