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摘要 >G~mp<L 8'Z:ydj^, 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 k|vI<:'p,
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 Bj Wr5SJ x}TS 超构光栅结构和建模 /J3ZL[o?Q
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 E<E3&;qD SJ?6{2^ VirtualLab Fusion提供： %zBCq"y Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; < IJu7t> Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 ^03j8Pc-c ^Hrn ] 光栅周围介质 :~F :/5
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 :#5xA?=*
S 5%zXAQD=< • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 69m
;XdkKz • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 P 1XK*GZ • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 NTo !'p:s "9!d]2.-Vk 光栅堆栈内部材料 8uNULob
({s6eqMhDd
 N8toxRu 1'.7_EQ4T • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 t_z,>,BqJ • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 >Dw~P OMy • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。
h `}} q h/F 单柱几何配置 ]rehW}
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 ]z/Zq kIHDeo%K} 柱子的分布 #:jb*d? <"N_j]wD  XfPFo6 • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 K6/ @]y%Wr • 有几种方法可以做到这一点: Zxr!:t7 • 逐个柱子，手动; , DdB^Ig<r • 一次性定义在等距网格; b-l l • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 (*}yjUYLZ • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 3E3U /K Snp| !e 数值参数设置 z]B]QB
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U,#yqER'r • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 6+r$t# • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 E )Gw0]G • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 Q!-
0xl x 7C#`6: tI 例1:一维Blazed 超构光栅 H] Hv;fcC !!@A8~H 材料和介质的配置 ojYbR<jn9
mxor1P#|
 ! cKz7?w see the full Application Use Case R_M?dEtE>
b vfk 柱子几何及分布 #/PA A ~ wg:!VWA)  zvABU+{jD *6HTV0jv 空间频率数 co Yij 4iSa7YqhBT  c/c$D;T N0hE4t f{SB1M 例2:二维光束分离超构光栅 YK|bXSA[ _|h8q-[3 材料和介质的配置 hW{j\@R {U&.D
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 rG,5[/l V_plq6z 柱子几何及分布 O l4+_n8xj ^C2\`jLMY  [+O"<Ua
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