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摘要 }iww:H-1 >k(MU mhX 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 ,sQ9 3(Vo
P kUd~c
 7 y<1 LQ;} ^mPPyT ,( 超构光栅结构和建模 Poy^RpnX
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 2F+gF~znQ Sc$UZ/qPT VirtualLab Fusion提供： SW 8x]B Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; ]r/^9XaqtA Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 W!la -n <+U|dX 光栅周围介质 ^DAu5 |--R
eSy(~Y
 Z" v<0]rN "@ E3MTW • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 u$*>`Xe6 • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 B$a-og( • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 1~yZ T ukAKFc^)k 光栅堆栈内部材料 (-^ bj
*75YGD
 ?dq#e9 $:bih4 @> • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 c$H+g,7xQ- • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 \
v2H^j/ • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 F fFak@H :0~QRc-u 单柱几何配置 `DW2spd
k$7Z^~?Fz
 K` 6z&* ~)X[(T{ 柱子的分布 9Sg<K)Mc lxb zHlX  )e%}b -I'r • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 AR&:Q4r| • 有几种方法可以做到这一点: 2YBIWR8z • 逐个柱子，手动; Lxe^v/LsT • 一次性定义在等距网格; pV\YG B+ • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 Va<eusl • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 _M5%V>HO L36Yx7gT< 数值参数设置 2HL9E|h
S-F o
 }VCI=?- % V_-%/3Z • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 2KJ1V+g@a6 • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 DVp5hR_$ • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 })F*:9i* DtxE@, 例1:一维Blazed 超构光栅 P,xwSvO#M CXaWgxlK:a 材料和介质的配置 X` r* ob
zc+@lJy
 !PU ZWO see the full Application Use Case Zj9c9
k5BXirB 柱子几何及分布 ~}9PuYaD@ [3>GGX[Ic  PS>x,T tjnPyaJEl 空间频率数 S;\R!%t_ d j5 hv~  hlbvt-C?}" Qst$S} n +OaUP*\Dd 例2:二维光束分离超构光栅 WC q
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8kc 材料和介质的配置 h1 D?=M\9 L EW hb!U
 p3951-D vDj;>VE2b 柱子几何及分布 @_ygn Nn4R ) ]6h y9<  ~Qj}ijWD
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