切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 先进光刻机曝光系统光学设计 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 590阅读
    • 0回复

    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7377
    光币
    31026
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 03-11
    摘要                                                                             O`e0r%SJ  
    Ij>x3L\-  
    超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 dbGW`_zQ4  
    [0 7N<<  
     X&._<2  
    [T', ZLR|  
    超构光栅结构和建模 7*5$=z4,1  
    >b;fhdd:4  
                                                                                 YIA}F1:  
    4ew|5Zex.~  
    VirtualLab Fusion提供： ~:ddTv?F  
     Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; tBe)#-O  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 =p>"PqJ/7n  
    }9fH`C/m  
    光栅周围介质   }fw;{&s{z  
    nf!RB-orF  
                                                                                 4cK6B)X  
    P[PBoRd2  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 lp5`Kw\  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 y wlN4=  
    • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 x#"|Z&Dw0  
    yn<z!z%mz  
    光栅堆栈内部材料 ug!DL=ZW  
    .E|Hk,c9  
                                                                               6~\z]LZ  
    XJnDx 09h  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 K^AX=B  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 dwks"5l  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 O4FW/)gq  
    ann!"s_  
    单柱几何配置 )F 6#n&2  
    v=?U{{xQ  
                                                                             +=%13cA*U  
    haW8zb0z  
    柱子的分布                                                                           /E(H`;DG  
    ~,yHE3B\G  
    UwY<3ul  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 BM{GSX  
    • 有几种方法可以做到这一点: PPT"?lt*&  
    • 逐个柱子，手动; Oy[1_qfP  
    • 一次性定义在等距网格; l(9$s4R  
    • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 v'*Q[ ('  
    • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 ^ pMjii8IZ  
    phSF. WC  
    数值参数设置 !_s|h@  
    ]aq!@rDX  
                                                                               HTI1eLZ2  
    94%gg0azp  
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 a8aEZ724  
    • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 :7p0JGd  
    • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 0Mt2Rg}  
    YE&"IH]lF  
    例1:一维Blazed 超构光栅 { yU1db^  
    @Fqh]1t  
    材料和介质的配置 1Nw&Z0MI  
    W^0F(9~!(  
                                                                             r9@O`i  
    see the full Application Use Case l?(nkg["nY  
     dv-yZRU:  
    柱子几何及分布                                                                           Jl&bWp^3  
       G ;V@oT  
    OYC4iI  
                                                                                     tC\x9&:  
    空间频率数                                                                             %Rr!I:[ $  
                                                                               57IrD*{  
    k);z}`7  
    8+ eZU<\B(  
    *103  
    例2:二维光束分离超构光栅 UT [7 J  
    PB4E_0}h  
    材料和介质的配置                                                                             }p}i _'%  
    xq =+M!V  
     wQ!~c2a<8  
    >h<eEv/  
    柱子几何及分布                                                                           ;|w &n  
    93 x.b]] "  
    :q~qRRmjBe  
     c }ivYH?`w  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表