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D H.CAV ;U? 323Z 元件内部场分析器：FMM允许用户可视化和研究微
结构和
纳米结构内部的电磁场分布。为此，使用傅立叶模态法/严格耦合波分析（FMM/RCWA）计算周期性结构（透射或反射、电介质或金属）内部的场。还可以指定场的哪一部分应该可视化：正向模式、反向模式或两者同时显示。
W>[TFdH? wid 元件内部场分析仪：FMM SN$3cg]z ~Yre( 8+M 6?/f $,v 元件内部场分析器：FMM是
光栅光学装置的独有功能，可提供光栅结构内部电磁场的可视化。
v}@Uc-( K)eyFc 评估模式的选择 D$`$4mX@hP xk^`4; S= $ \S9 为了更容易地区分入射场、反射场和透射场，可以仅评估正向或反向传播模式，或者评估两者的总和。
2l~qzT- V\AF%=6} 评价区域的选择 `U>]*D6 8 " rp P 
;r XZ?" c2PBYFCyC 元件内部场分析器：FMM可以输出整个元件（包括基板）内部的场，或者只输出一个堆栈或基块（基板）中的场。
]oKHS $W9 66po SZR@ 不同光栅结构的场分布 _A=i2?g R l)g[s 任意形状的光栅结构可以通过元件内部场分析仪进行分析。以下是几个例子：
"}0)~,{x B ^>z+e"PQA 1W7ClT_cQ 光栅结构的采样 ^+ Vf*YY
8 0u I=8j 虽然分析仪为输出数据提供了一些采样选项，但
系统中定义的光栅表面必须正确采样（例如，分解点和过渡点的层数足够）。
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%~N| RSec i,l$1g-i 分解预览展示了如何根据当前采样因子对光栅结构进行采样。
`L3{y/U' 5+/XO>P1m| 光栅结构的充分采样意味着已经实现了收敛，即进一步增加采样不会显著影响产生的场。例如，如果层分解过于粗糙，则可能会由于纵断面中的大台阶而产生其他影响。
)%hW3w 6Zv-kG mC'<Ov<eJ 输出数据的采样：一维周期光栅（Lamellar） |gfG\fL3V Q776cj^L ^,Ft7 JAn 对于1D周期性（片状）光栅，分析仪使用对话框“采样”部分中指定的
参数生成2D横截面
图像。
B06W(y,3Q> nDz.61$[ 输出数据的采样：二维周期光栅 9ol&p> 3.Jk-:u %m 当分析的光栅设置为2D Periodic时，Field Inside Component Analyzer：FMM将通过结构生成一系列二元截面，z方向的采样参数决定执行的切割次数。
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