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复杂光栅结构被广泛应用于光谱仪、近眼显示系统等领域。VirtualLab Fusion 软件用傅立叶模态法（FMM,或者RCWA）一种简易的仿真方法来严格分析任意的光栅结构。使用图形用户界面，可以设置堆栈的几何图形，从而生成复杂的光栅结构。 此例程主要用于构建具有二维周期性特征的光栅。• 光栅工具箱中构建二维光栅的方法 − 基于介质定义的类型 − 基于界面定义的类型 8g/F)~s^F • 计算之前修改高级选项和检查定义的结构的方法。 dE=Ue#1U@5 • 提示：在VirtualLab软件中的光栅结构中，表现为二维周期性的被称作 三维光栅。同样的，层状光栅（一维周期性）被称作二维光栅。 NeOxpn[ I4_d[O9 初始化光栅工具箱 <,%:
• 初始化 c+' =hR[ − 开始菜单栏 (Start) oR#:Nt X@ 光栅菜单栏(Grating) woO y* )@ 通用光栅光路图（三维光栅） General Grating Light Path Diagram(3D Gratings) }xb=< • 提示：对于特殊类型的光栅，例如柱形光栅，
j2n,f7hl. 可以在光栅工具箱中直接点击柱形光栅光路 P&A|PY, P 图（三维光栅）(Pillar Grating Light fQLax Path Diagram(3D Gratings)) $ 0Yh!L ?\
Es5p}uh.[Y
设置光栅结构 ]`=X'fED
{U!uVQC '
• 首先，需要定义基底(Base Block)的厚度和介质。 _%@=Uc6V
• VirtualLab中光栅结构在堆栈(stack) 中定义。 =!MY4&YX
• 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同时添加堆栈(stack)。 .m4;^S2 cO
• 例如，图中在前表面添加了堆栈(stack)。 F@<0s&)1 基于材料定义光栅的类型（例程： 柱形光栅） gPC@Yy 堆栈编辑器 YE+$H%Jl!
]> !<G8 =N
Owv +1+B
在堆栈编辑器(Stack Editor)中，界面和材料可以从中目录(catalog) 中添加。 ug&[ IL~lc
• 为了用一种特殊的介质定义光栅，需要添加两个平面界面，作为介质的边界。 Vd9 @Dy W 0[N0c 两个平面之间的介质类型可以是均匀介质(homogenous)或者调制介质(modulated)。 N+W&NlZ
• 使用调制介质，就可以非常有效地描述复杂光栅结构，如柱形光栅。柱形光栅介质 ^s/
;GHvPQc_
r4 dOK] 0
• 在目录类别中LightTrans预设(LightTrans Defined)下柱形介质类(pillar media)中可以添加铬柱(Chromium Pillars)。 g=)J ~1&p
• 这种介质可以仿真柱形结构或者在基底表面打孔的结构。 H^%.=kf
• 此例程中，矩形排布的金属铬圆柱位于熔融石英基底表面。 [THG4582oB
• 在堆栈编辑器的视图中，不同材料根据折射率的高低表示为不同深浅的颜色 )hKS0`$|
（颜色越深，折射率越高）。
q" @
• 注意：堆栈编辑器固定显示x-z平面的横截面视图。 ?:rx1}:F J]/}ojW3 • 请注意：界面添加的顺序固定由基底表面开始算起。 V~{
_3YY • 选中的界面会以红色突出显示。 ) |#%Czd4 • 此外，无法在此处定义光栅前面的介质（指 L):U"M>]= 最后一个界面后的介质）。它会自动从光栅部件前面的材料中提取。 *gsAn<
• 可以在光学参数设置编辑器(Optical Setup Editor)中更改这处材料。 ^C^*,V3
(X[2TT3j!
• 堆栈周期(Stack Period)可以控制整个结构的周期。 $A \m>*@
• 对于二维周期性光栅，必须在x和y方向分别定义周期。 @]CF&: P A
• 该周期也是FMM算法的周期边界条件。 $6f\uuTU2"
• 对于简单的光栅结构，建议选择与介质周期一致 (Dependent from the Period of Medium) 选项，并选择合适的周期性介质的序号。 !E\[SjY@J
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