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F^.~37=@ 内容简介 Vsr"W@k_ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 QXW>}GdKZ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 P9W?sPnC5 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 T:SqENV g}d[j
I9 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Rn)fwGC 目录 5Q\ hd*+g Preface 1 VTwQD"oB 内容简介 2 |
{Q}:_/q 目录 i qu&p)*M5 1 引言 1 a7!{`fR5 2 光学薄膜基础 2 a"l\_D'.K8 2.1 一般规则 2 >qBJK)LHOv 2.2 正交入射规则 3 Xl:.`{5L 2.3 斜入射规则 6 dQ_hlx!J 2.4 精确计算 7 p3>Md?e 2.5 相干性 8 rv`GOta* 2.6 参考文献 10 PS8^= 3 Essential Macleod的快速预览 10 (3~^zwA 4 Essential Macleod的特点 32 9h/Hy aN 4.1 容量和局限性 33 |{JI=$ 4.2 程序在哪里? 33 7'#_uAQR 4.3 数据文件 35 k136n#KN1 4.4 设计规则 35 qeb} ~FL"o 4.5 材料数据库和资料库 37
vR&b2G7o 4.5.1材料损失 38 :| !5d{8S8 4.5.1材料数据库和导入材料 39 AiB]A} 4.5.2 材料库 41 oJQ
\?~ 4.5.3导出材料数据 43 P EMBh?)g 4.6 常用单位 43 o=6 <?v7 4.7 插值和外推法 46 ?L0 |$#Iw 4.8 材料数据的平滑 50 \}~71y} 4.9 更多光学常数模型 54 ym+Ezb#o 4.10 文档的一般编辑规则 55 upZtVdd 4.11 撤销和重做 56 0Y:)$h2? 4.12 设计文档 57 T0~~0G)k 4.10.1 公式 58 o+.ySSBl+ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 =k>fW7e 4.10.3 沉积密度 59 i[ >U#5 4.10.4 平行和楔形介质 60 b
0qA 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 RB6Q>3g 4.10.4 性能 61 iXq*EZb"R 4.10.5 保存设计和性能 64 OL%}C*Zq 4.10.6 默认设计 64 MiR$N 4.11 图表 64 D)Ep!`Q
4.11.1 合并曲线图 67 mkhWbzD'S 4.11.2 自适应绘制 68 3 qJ00A 4.11.3 动态绘图 68 81C;D`!K 4.11.4 3D绘图 69 slhMvHOk- 4.12 导入和导出 73 K7@|2;e 4.12.1 剪贴板 73 5E*Qqe 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 L|L|liWd 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 !zvOCAb, 4.13 背景 77 )0DgFA6k_ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 VN(*m(b 4.15 生成Rugate 84 I9Uj3cL\ 4.16 参考文献 91 ;mRZ_^V; 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 k DXQpe 5.1 Jobs 92 (> _Lb 5.2 创建一个新Job(工作) 93 #oR`_Dm)P 5.3 输入材料 94 \<\H1;=.@' 5.4 设计数据文件夹 95 H^54o$5 5.5 默认设计 95 ca3SE^ 6 细化和合成 97 TZ `Ypi7r 6.1 优化介绍 97 8a&c=9 6.2 细化 (Refinement) 98 wlsx| 6.3 合成 (Synthesis) 100 seRf q& 6.4 目标和评价函数 101 cy)-Rfg 6.4.1 目标输入 102 n#}~/\P6 6.4.2 目标 103 .ZV='i()X 6.4.3 特殊的评价函数 104 <QO1Yg7} 6.5 层锁定和连接 104 REYvFx?i 6.6 细化技术 104 c~O
Lr 6.6.1 单纯形 105 TOF V`7q;3 6.6.1.1 单纯形参数 106 {Z7ixc523 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 u|T]Ne 6.6.2.1 Optimac参数 108
D~BL Txq 6.6.3 模拟退火算法 109 S,ea[$_ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 G;iH.rCH 6.6.4 共轭梯度 111 0[M2LF!m 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 .@%L8_sMR 6.6.5 拟牛顿法 112 Kh[l};/F 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 _)~1'tCs}h 6.6.6 针合成 113 UP$>,05z6 6.6.6.1 针合成参数 114 l2:-).7xt 6.6.7 差分进化 114 U#]J5'i 6.6.8非局部细化 115 # ACT&J 6.6.8.1非局部细化参数 115 *S"RU~1_ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Wh) 6.7.1 细化 116 GlTpK^. 6.7.2 合成 117 /e[m;+9^& 6.8 参考文献 117 d(TN(6g@ 7 导纳图及其他工具 118 f6yj\qq] 7.1 简介 118 Dr:M~r'6 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 4L ]4WVc 7.2.1 四分之一波长规则 119 aL*MC gb' 7.2.2 导纳图 120 2O*At%CzW 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 /9&!u )+ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Du65>O 7.5 斜入射导纳图 141 s]OZ+^Z 7.6 对称周期 141 fP5i3[T 7.7 参考文献 142 r5ldK?=k+* 8 典型的镀膜实例 143 _z8"r& 8.1 单层抗反射薄膜 145 4H%#Sn#L^! 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ej@4jpHQN 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 <5}I6R; 8.4 W-膜层 148 j6RV{Lkr_ 8.5 V-膜层 149 7)5G 1 8.6 V-膜层高折射基底 150 Xwdcy J! 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 )^AZmUYZ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 C?>d$G8 8.9 四层抗反射薄膜 153 d'ZB{'[8p 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 A[^#8evaK 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 wK7w[Xt 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 XHj%U 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 s>I]_W)Pt 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ^)Awjj9 8.15十五层宽带抗反射膜 159 YTZ :D/ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 }2LWDQ;po 8.17 1/4波长堆栈 162 gaz",kK< 8.18 陷波滤波器 163 %J9u?-~ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 m BFNg3_ 8.20 褶皱 165 JDZuT# 8.21 消偏振分光器1 169 q[W6I9 8.22 消偏振分光器2 171 e)B1)c 8s 8.23 消偏振立体分光器 172 m//aAxmB 8.24 消偏振截止滤光片 173 4'dN7E1*f 8.25 立体偏振分束器1 174 >'W,8F 8.26 立方偏振分束器2 177 MD;Z UAX< 8.27 相位延迟器 178 l+>Y 8.28 红外截止器 179 {l!{b1KJ 8.29 21层长波带通滤波器 180 97\K ]Tr 8.30 49层长波带通滤波器 181 PN?;\k)" 8.31 55层短波带通滤波器 182 xWXLk )A 8.32 47 红外截止器 183 %a
WRXW@c 8.33 宽带通滤波器 184 <=GZm}/]N 8.34 诱导透射滤波器 186 8..|-<w 8.35 诱导透射滤波器2 188 AVw oOvJ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 .O'~s/h 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 }Vob)r{R@ 8.35 增益平坦滤波器 193 f~\H|E8( 8.38 啁啾反射镜 1 196 LEPTL#WT1 8.39 啁啾反射镜2 198 ><D2of| 8.40 啁啾反射镜3 199 =E]tEi 8.41 带保护层的铝膜层 200 YcX"Z~O6j= 8.42 增加铝反射率膜 201 \ui'~n_t] 8.43 参考文献 202
l$\B>u,> 9 多层膜 204 c`\/] 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 G .<0^q, 9.2 内部透过率 204 1}Q9y`65 9.3 内部透射率数据 205 =|aZNHqH 9.4 实例 206 ()Kaxcs?+ 9.5 实例2 210 Ul/m]b6- 9.6 圆锥和带宽计算 212
OM1{-W 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 g$#A'Du 10 光学薄膜的颜色 216 'A.5T%n- 10.1 导言 216 $Z]@N
nA9N 10.2 色彩 216 Qd YYWD
10.3 主波长和纯度 220 aWJ
BYw6{L 10.4 色相和纯度 221 >Rt:8uurAG 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 cL*oO@I&_ 10.6 色差 226 4hxP`!< 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 BWxJ1ENM
10.8 颜色渲染指数 234 ![ce } 10.9 色差计算 235 _[z)%`kay 10.10 参考文献 236 Xwo+iZ(a 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 C=r`\W 11.1 短脉冲 238 N[3Y~HX!q 11.2 群速度 239 (_ :82@c 11.3 群速度色散 241 H!7?#tRU 11.4 啁啾(chirped) 245 WvT H+ 11.5 光学薄膜—相变 245
0n6eWwY 11.6 群延迟和延迟色散 246 :Bt,.uNC 11.7 色度色散 246 4(P<'FK $ 11.8 色散补偿 249 \^9n&MonM 11.9 空间光线偏移 256 WgR%mm^ 11.10 参考文献 258 C^,baCX 12 公差与误差 260 fi>.X99(G 12.1 蒙特卡罗模型 260 :Ob^b3<t 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 O>hh 12.2.1 误差工具 267 &l]F&- 12.2.2 灵敏度工具 271 5EQ)pH+ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 D=z="p\ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 M0lJyzJ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 v\8v' EDP 12.3 参考文献 276 HLqN=vE6 13 Runsheet 与Simulator 277 1+-Go}I 13.1 原理介绍 277 ~ L%,9 13.2 截止滤光片设计 277 kZG;\ 14 光学常数提取 289 12'MzIsU's 14.1 介绍 289 ga\s5
14.2 电介质薄膜 289 $rk=#;6]v; 14.3 n 和k 的提取工具 295 Q.eD:@%iE 14.4 基底的参数提取 302 f?=0Wzb 14.5 金属的参数提取 306 ZG1TRF " 14.6 不正确的模型 306 l3^'b p6HQ 14.7 参考文献 311 6(7{|iY
15 反演工程 313 q:M'|5P 15.1 随机性和系统性 313 (-0d@eqw 15.2 常见的系统性问题 314 Tf!6N<dRXR 15.3 单层膜 314 @8m%*pBg 15.4 多层膜 314 %7`eT^ 15.5 含义 319 ;PG=
3j_ 15.6 反演工程实例 319 MHt
~ZVH 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 "2-D[rYZ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 0[d*Z 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 /^jl||'H,: 16.1 光学性质的热致偏移 329 ndDF(qHr 16.2 应力工具 335 h P WP6;Z 16.3 均匀性误差 339 q>K3a1x 16.3.1 圆锥工具 339 >)NS U 16.3.2 波前问题 341 eB9&HD: 16.4 参考文献 343 )i.pE]!+ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ;AVIt!(L~V 17.1 引言 345 vJi<PQ6 17.2 操作数 345 `_1fa7,z 18 如何在Function中编写脚本 351 o-&0_Zq_ 18.1 简介 351 ](n)bF+ym 18.2 什么是脚本? 351 9S9j 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 GSSmlJ` 18.4 基础 352 TYR \K 18.4.1 Classes(类别) 352 1'p=yHw 18.4.2 对象 352 &+k*+ 18.4.3 信息(Messages) 352 V8WSJ=-&
18.4.4 属性 352 c+z [4"rYL 18.4.5 方法 353 guf&V}& 18.4.6 变量声明 353 X-"
+nThMn 18.5 创建对象 354 3:#6/@wQ 18.5.1 创建对象函数 355 S?JGg.) 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ^yl}/OD 18.5.3 丢弃对象 356 kzK9. 18.5.4 总结 356 m}D;=>2$ 18.6 脚本中的表格 357 U}Puq5[ ? 18.6.1 方法1 357 >iG3!Td)y 18.6.2 方法2 357 4,R"(ej 18.7 2D Plots in Scripts 358 nTtEv~a_n 18.8 3D Plots in Scripts 359 KlS#f 18.9 注释 360 \5j}6Wj 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 4bw4!z9G 18.11 一个更高级的脚本 362 W?wt$' 18.12 <esc>键 364 =<PEvIn 18.13 包含文件 365 ^ZS!1%1 18.14 脚本被优化调用 366 %LmsywPPp 18.15 脚本中的对话框 368 g2==`f!i 18.15.1 介绍 368 (dyY@={q 18.15.2 消息框-MsgBox 368 b+arnKo1fk 18.15.3 输入框函数 370 +03/A`PKrB 18.15.4 自定义对话框 371 o+XQMg 18.15.5 对话框编辑器 371 GNrRc3dr$ 18.15.6 控制对话框 377 v{"yrC 18.15.7 更高级的对话框 380 q=`n3+N_H~ 18.16 Types语句 384 ?>V>6cDQ 18.17 打开文件 385 ^\`a-l^ 18.18 Bags 387 +%klS `_ 18.13 进一步研究 388 a-FI`Dv 19 vStack 389 aqQ+A:g 19.1 vStack基本原理 389 D{y7[#$h$ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 [iO8R-N8d 19.3 五棱镜 393 o6~JAvw 19.4 光束距离 396 Y}2Sr-@u 19.5 误差 399 P{QHG 3 19.6 二向分色棱镜 399 L{r 4hL [
19.7 偏振泄漏 404 :IJ<Mmb 19.8 波前误差—相位 405 v)gMNzt 19.9 其它计算参数 405 +zLw%WD[l 20 报表生成器 406 =)g}$r
&< 20.1 入门 406 4]p#9`j 20.2 指令(Instructions) 406 (=c,b9cb 20.3 页面布局指令 406 @Y.r ,q 20.4 常见的参数图和三维图 407 jC}HNiM78 20.5 表格中的常见参数 408 {n|Uf 5 20.6 迭代指令 408 &&LB0vH!J 20.7 报表模版 408 )Qe]!$tqfD 20.8 开始设计一个报表模版 409 EN/t5d 21 一个新的project 413 IDos4nM27] 21.1 创建一个新Job 414 's5rl 21.2 默认设计 415 < Mu`,Kv* 21.3 薄膜设计 416 Jn|i! 21.4 误差的灵敏度计算 420 vV9vB3K5? 21.5 显色指数计算 422 }
d8\ Jg 21.6 电场分布 424 QZ;DZMP 后记 426 <~w 3[i=
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