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    [求助]吸收怎么调整？从哪些方面入手呢？ [复制链接]

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    离线tfcalc68
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 12-18
    如图，比如说TI3O5短波吸收那么大，应该从哪些方面入手调整？恳请给些详细的见解 i!JSEQ_8  
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 12-18
    一般是杂质或者膜质不均匀造成的。 g&ba]?[A  
    杂质是膜料问题，膜质不均匀是工艺问题，另外Ti2O5本身在短波就有吸收。 TC:t!:  
    充氧可以解决部分膜质不均匀的问题，最好是用射频离子源辅助镀膜。 (V/! 0Lj  
    离子源能量不够容易造成发雾（散射），这是晶格尺寸造成的。 d)$ seZB  
    调整温度可以改善，但是最简单的方法就是提高离子源能量。
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    离线tfcalc68
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    只看该作者 2楼 发表于: 前天 10:09
    我是高温镀的TI3O5，设定320°，射频离子源能量1100、1200。高温镀TI3O5，测试片表面蒙蒙的，是不是产生了结晶
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    离线tfcalc68
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    只看该作者 3楼 发表于: 前天 10:10
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:一般是杂质或者膜质不均匀造成的。 "I[u D)$  
    杂质是膜料问题，膜质不均匀是工艺问题，另外Ti2O5本身在短波就有吸收。 NUX2{8gs  
    充氧可以解决部分膜质不均匀的问题，最好是用射频离子源辅助镀膜。 ]i'gU(+;`  
    离子源能量不够容易造成发雾（散射），这是晶格尺寸造成的。 9 J~KM=p  
    调整温度可以改善，但是最简单的方法就是 .. (2025-12-18 20:48)  Be0v&Q_NK  
    \YF'qWB  
    我是高温镀的TI3O5，设定320°，射频离子源能量1100、1200。高温镀TI3O5，测试片表面蒙蒙的，是不是产生了结晶。。
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    离线度魔银
    助理工程师
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    只看该作者 4楼 发表于: 昨天 10:27
    建议降低温度，调节充氧量试试
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