[求助]吸收怎么调整？从哪些方面入手呢？ [复制链接]

如图，比如说TI3O5短波吸收那么大，应该从哪些方面入手调整？恳请给些详细的见解 bnkZWw'9  

一般是杂质或者膜质不均匀造成的。 0#'MR.,  
杂质是膜料问题，膜质不均匀是工艺问题，另外Ti2O5本身在短波就有吸收。 7t<h 'g2  
充氧可以解决部分膜质不均匀的问题，最好是用射频离子源辅助镀膜。 AEj%8jh  
离子源能量不够容易造成发雾（散射），这是晶格尺寸造成的。
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调整温度可以改善，但是最简单的方法就是提高离子源能量。

我是高温镀的TI3O5，设定320°，射频离子源能量1100、1200。高温镀TI3O5，测试片表面蒙蒙的，是不是产生了结晶

ouyuu:一般是杂质或者膜质不均匀造成的。 O+'k4  
杂质是膜料问题，膜质不均匀是工艺问题，另外Ti2O5本身在短波就有吸收。 3:$@DZT$  
充氧可以解决部分膜质不均匀的问题，最好是用射频离子源辅助镀膜。 9+ve0P7$  
离子源能量不够容易造成发雾（散射），这是晶格尺寸造成的。 \N|}V.r  
调整温度可以改善，但是最简单的方法就是 .. (2025-12-18 20:48)  J<"Z6 '0v  

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我是高温镀的TI3O5，设定320°，射频离子源能量1100、1200。高温镀TI3O5，测试片表面蒙蒙的，是不是产生了结晶。。

建议降低温度，调节充氧量试试

温度太高了。降到200°以下试试。离子源本来就有加热作用。

钛的镀膜温度250℃左右比较合适，吸收的话可通过调节充氧量，调节离子源参数，调节蒸发速度等来进行解决，但要做到无吸收基本上不可能，如果需要尽量小的吸收，Ta2O5材料更合适，虽然折射率会小不少。

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我们这个新科隆设备也是这样，150度，射频离子源，钛前面有吸收，镀可见光高反，前面400-550都上不去 xo-}t5w6t  

氧气 温度 速率 离子源功率 一个个来 xTZJ5iZ17  

bilong:[图片]
我们这个新科隆设备也是这样，150度，射频离子源，钛前面有吸收，镀可见光高反，前面400-550都上不去 ':T"nORC  
 (2026-03-10 18:27)  s:sk`~2<gd  

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你们那台机是栅网问题。 q0_Pl*  
国产栅网或者旧栅网的效率太低了。 jpfFJon)w  
数值是1000mA，实际可能500mA的离子都没有。 zh
ACNz4tJ  
新的原厂栅网一般能达到90%以上的效率。