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    [求助]吸收怎么调整？从哪些方面入手呢？ [复制链接]

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    离线tfcalc68
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-12-18
    如图，比如说TI3O5短波吸收那么大，应该从哪些方面入手调整？恳请给些详细的见解 !PIg ,  
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    离线yzhuang
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    只看该作者 6楼 发表于: 01-22
    钛的镀膜温度250℃左右比较合适，吸收的话可通过调节充氧量，调节离子源参数，调节蒸发速度等来进行解决，但要做到无吸收基本上不可能，如果需要尽量小的吸收，Ta2O5材料更合适，虽然折射率会小不少。
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    离线ouyuu
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    只看该作者 5楼 发表于: 2025-12-23
    温度太高了。降到200°以下试试。离子源本来就有加热作用。
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    离线度魔银
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    只看该作者 4楼 发表于: 2025-12-20
    建议降低温度，调节充氧量试试
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    离线tfcalc68
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    只看该作者 3楼 发表于: 2025-12-19
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:一般是杂质或者膜质不均匀造成的。 :V"e+I  
    杂质是膜料问题，膜质不均匀是工艺问题，另外Ti2O5本身在短波就有吸收。 xNY&*jI  
    充氧可以解决部分膜质不均匀的问题，最好是用射频离子源辅助镀膜。 q8_E_s-U,  
    离子源能量不够容易造成发雾（散射），这是晶格尺寸造成的。  pb<eg,  
    调整温度可以改善，但是最简单的方法就是 .. (2025-12-18 20:48)  z__{6"^  
    ,X| >d  
    我是高温镀的TI3O5，设定320°，射频离子源能量1100、1200。高温镀TI3O5，测试片表面蒙蒙的，是不是产生了结晶。。
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    离线tfcalc68
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    只看该作者 2楼 发表于: 2025-12-19
    我是高温镀的TI3O5，设定320°，射频离子源能量1100、1200。高温镀TI3O5，测试片表面蒙蒙的，是不是产生了结晶
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2025-12-18
    一般是杂质或者膜质不均匀造成的。 ktY  
    杂质是膜料问题，膜质不均匀是工艺问题，另外Ti2O5本身在短波就有吸收。 nKwOSGPQt  
    充氧可以解决部分膜质不均匀的问题，最好是用射频离子源辅助镀膜。 9nd,8Nji  
    离子源能量不够容易造成发雾（散射），这是晶格尺寸造成的。 Yg!fEopLb  
    调整温度可以改善，但是最简单的方法就是提高离子源能量。
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