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    [求助]吸收怎么调整？从哪些方面入手呢？ [复制链接]

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    离线tfcalc68
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-12-18
    如图，比如说TI3O5短波吸收那么大，应该从哪些方面入手调整？恳请给些详细的见解 *T.={>HE8  
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    离线qj沧海
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    只看该作者 11楼 发表于: 06-01
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:你们那台机是栅网问题。 kBDe*K.V  
    国产栅网或者旧栅网的效率太低了。 =8VJ.{xy_e  
    数值是1000mA，实际可能500mA的离子都没有。 ^<5^9]x  
    新的原厂栅网一般能达到90%以上的效率。 (2026-03-18 18:43)  0SGczgg  
    c'wU O3S  
    经验之谈啊，感觉学习到了
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    离线bilong
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    只看该作者 10楼 发表于: 04-08
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:你们那台机是栅网问题。 9$w)_RX9W  
    国产栅网或者旧栅网的效率太低了。 @X / =.  
    数值是1000mA，实际可能500mA的离子都没有。 X]qp~:4G  
    新的原厂栅网一般能达到90%以上的效率。 (2026-03-18 18:43)  t"@|;uPAu  
    %Zi,nHg8  
    好的，感谢指导
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    离线ouyuu
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    只看该作者 9楼 发表于: 03-18
    回 bilong 的帖子
    bilong:[图片]
    我们这个新科隆设备也是这样，150度，射频离子源，钛前面有吸收，镀可见光高反，前面400-550都上不去 Nr7.BDA  
     (2026-03-10 18:27)  -x5bdC(d  
    [<yUq zm  
    你们那台机是栅网问题。 x{w?X.Nt  
    国产栅网或者旧栅网的效率太低了。 E<_6O Cz  
    数值是1000mA，实际可能500mA的离子都没有。 0iq$bT|  
    新的原厂栅网一般能达到90%以上的效率。
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    在线xiezhizhi
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    只看该作者 8楼 发表于: 03-18
    氧气 温度 速率 离子源功率 一个个来 ~H."{  
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    离线bilong
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    只看该作者 7楼 发表于: 03-10
    )^xmy6k  
    IKj1{nZvDc  
    我们这个新科隆设备也是这样，150度，射频离子源，钛前面有吸收，镀可见光高反，前面400-550都上不去 q&x#S_!  
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    离线yzhuang
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    只看该作者 6楼 发表于: 01-22
    钛的镀膜温度250℃左右比较合适，吸收的话可通过调节充氧量，调节离子源参数，调节蒸发速度等来进行解决，但要做到无吸收基本上不可能，如果需要尽量小的吸收，Ta2O5材料更合适，虽然折射率会小不少。
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    离线ouyuu
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    只看该作者 5楼 发表于: 2025-12-23
    温度太高了。降到200°以下试试。离子源本来就有加热作用。
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    离线度魔银
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    只看该作者 4楼 发表于: 2025-12-20
    建议降低温度，调节充氧量试试
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    离线tfcalc68
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    只看该作者 3楼 发表于: 2025-12-19
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:一般是杂质或者膜质不均匀造成的。 hb{(r@[WHv  
    杂质是膜料问题，膜质不均匀是工艺问题，另外Ti2O5本身在短波就有吸收。 |9h[Q[m  
    充氧可以解决部分膜质不均匀的问题，最好是用射频离子源辅助镀膜。 wl4yNC  
    离子源能量不够容易造成发雾（散射），这是晶格尺寸造成的。 h kY E7  
    调整温度可以改善，但是最简单的方法就是 .. (2025-12-18 20:48)  DDEn63{  
    uQlVzN.?  
    我是高温镀的TI3O5，设定320°，射频离子源能量1100、1200。高温镀TI3O5，测试片表面蒙蒙的，是不是产生了结晶。。
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