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摘要 DE{tpN 'w'PrM,: 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 pwiXA{ Hcp)Q76X
"Y9PS_u(~ :GXD-6}^| 建模任务 >O{U4_j@( x6, #Jp DNP%]{J D!K){E 倾斜平面下的观测条纹 q`l&G% "kLu]M<
Ft7{P.g b'D|p/)m0S 圆柱面下的观测条纹
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球面下的观测条纹 X3z$f(lF%) y>:-6)pv d"E@e21 i2a""zac VirtualLab Fusion 视窗 #cN0ciCT' 5 A/[x$q
G_fP%ovh VirtualLab Fusion 流程 \S[7-:Lu^ !+&Rn\e%7 $VWeo#b 设置入射场 SJYy,F],V" o\_@4hXf - 基本光源模型[教程视频] X*Ibk-PUM 定义元件的位置和方向 mkA1Sh{hX> $6W o$c% - LPD II: 位置和方向[教程视频] ~1x,m.f8 正确设置通道的非序列追迹 XZ@;Tyn0, QAp+LSm - 非序列追迹的通道设置[用户案例] HFJna2B`
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