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摘要 M$Zcn# A ma"3qGy 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 uc;8 K,[t ek#O3Oz
I'V4D[H5 N5a*7EJv+ 光栅详细说明 ;W>k@L -$\+'
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.zi_[ u(fm@+$^ •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 DRcNdO/1E •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 RhncBKm*M e" St_z( 光栅阶次分析器设置 O^oWG&Y;v Kx>qz.wwI? •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 :]\([Q+a •可以指定各种输出选项。 nih0t^m' •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 7Zlw^'q$:L Wk)OkIFR
3B84^>U< IZpP[hov 常规设置 0cj>mj1M
OX\A|$GS
<sBbT` 0yD9SJn •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 RZXjgddL •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 )h7<?@wv& vSEuk}pk 单个阶次设置 U~:-roQ(\ |olA9mp|]
<0Xf9a8> 5>[u ` •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 Ff)8Q.m •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 [CQ+p!QZ 3 2&;`]C 单个阶次设置 ,Q 8Vr%n2M 6 (]Dh;gC A^USBv+9`
oKuI0-*mR '=b/6@& 探测器标签页中的输出 V<GHpFi0 G?O1>?4C
dYJ(!V& EJMM9(DQ7 •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 <M+|rD]oc •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 u_oaebOrpP NPy&O |