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摘要 nsjrzO79L8 7H$wpn
Zln 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 5)=YTUCk ZD#{h J-
Ch0t' +6;1.5Tc 光栅详细说明 B4RP~^ J5#shs[M:
,b'QL6>` * R_mvJlT •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 ~ \3j{pr •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 5-B % 08T 7blo<|9 光栅阶次分析器设置 f2,\B6+ `&/~%> •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 F- l!i/ •可以指定各种输出选项。 oeA}b-Ct0 •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 X775j"<d U6Xi-@XP
S&z8-D=8k BW{&A&j 常规设置 Scz/2vNi` ?Vo/mtbY5X
3v,Bg4[i "]kq,j^] •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 f~Ve7
•另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 =&x
u"V i"OY=iw-N 单个阶次设置 v?<Tkw ^F $(N+E,XB
`S:LuU8e ~`!{5:v •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 Y8@TY? •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 o`%;*tx ODyKS; 单个阶次设置 oBI@.&tG} r NT>{
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vI5'npM 2/f!{lz ]( 探测器标签页中的输出 V}po ;Vlt4,s)
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