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摘要 dJZMzn [,Io!O 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 ?(&)p~o bN6FhKg|
+[MzF EE[ Jv*(DFt!v 光栅详细说明 GgoPwl#{ 6iiH+Nc
88)F-St z9k3@\7 •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 Ut;,Z •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 nMK,g>wp Hoaf3
`n 光栅阶次分析器设置 6gLk?^. y{.s
4NT •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 -.8 nEO3 •可以指定各种输出选项。 YxEc(a" •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 U2=PmS P 9V]\,mD=
V^a]@GK: }1A Brbc 常规设置 b< |