这是一个一维周期线
光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下，线型的横截面具有梯形形状，它位于衬底上并被背景
材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、
玻璃(衬底)和空气(背景)。
!e\R;bYM fJ"~XTN}T 光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的
结构内的近场强度。
S偏振照明的近场强度
m6Cd^'J9^ P偏振照明的近场强度 w4MMo
0)Xue9AS 傅立叶变换后处理计算透射
衍射级的振幅。
; 7v7V rIWN!@.J 参数扫描 -MW(={# 9oxf)pjw Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。
=|V]8 tN <QW1fE 它会生成以下
曲线图，显示反射和透射衍射级的强度：
E29gnYxu8 bvu<IXX=2 在脚本data_analysis/run_can_width.m中，线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化，照明角度固定。
