[技术]JCMSuite应用--线型光栅 [复制链接]

这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下，线型的横截面具有梯形形状，它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。 cPl$N5/5  
7ws[Rp8  
光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 cl'qw##  
|P"kJ45  
傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 `7 J4h9K  
x1`Jlzrp,  
参数扫描
V#PT.,Xa.  
0mT.J~}1v  
Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 *_uGzGB&G  
$I3}%'`+  
它会生成以下曲线图，显示反射和透射衍射级的强度： e0o)Jo.P  
A6F/w  
在脚本data_analysis/run_can_width.m中，线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化，照明角度固定。