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摘要 S|O#KE =C-
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q4SEvP}fLx [JEf P/n|. 双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维成像提供了高分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。 g'NR\<6A XZ: 6A]62I 建模任务 g f<vQb| ~Kt2g\BSok
s;#,c( 4t 0p!IxG 在VirtualLab Fusion中构建系统 GO3KKuQ= $lg{J$
h8 系统构建块 )
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U3o (Yq _q}^#- 元件解算器 JvF0s}#4 Bo;{ QoB
i.gagb }J6 y NoXu 利用光线追迹进行几何光学仿真 |Es,$ GHQm$|3I 结果:几何光线追迹 )3ZkKv;zY $ve*j=p
kBtzJ#j B BD [<>Wm 利用场追迹进行物理光学仿真 |(=b #&Rx?V 不同离焦像面的双螺旋PSF 1]"S? ri49r*_1
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