[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             `^FGwx@  
v%s`~~u%^  
Y))u&*RuT0  
G_k~X"  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             xgNJeQ  
-sjd&)~S[  
仿真任务                                                                             ;ml)l~~YU  
   u a~CEs  
4x;/HEb7?  
3plzHz,x
 
连接建模技术:倾斜光栅 p Wt) A  
k-HCeZ  
                                                                     vt;{9\Y
  
f3Hed  
可用的微结构建模技术: '`XX "_k3  
o_D?t-XH  
Jnna$6G)B  
                                                                                 q|v(Edt|_[  
光栅阶数分析仪 @1 U&UH  
.Y3pS/VI  
KA){''>8  
P~G1EK|4  
参数变化分析仪                                                                             f~dd3m('  
   e|p$d:#!  
                                                                             qd#sY.|1  
(A?H1 9  
参数优化                                                                             ~d%Pnw|  
sm\f0P!rv  
                   Qum9A  
DWID$w  
优化结果-平均效率 OnF3lCmu  
-|Y(V5]  
                                                   8 XICF  
&g.+V/<[  
优化结果-对比度 5o6>T!
 
GF>'\@Th