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    [技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-07-02
    摘要                                                                             @mx$sNDkL  
    S&3X~jD(1  
    rocB"0  
    Q+d.%qhc  
    由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             z,bX.*.-  
    x_<bK$OU  
    仿真任务                                                                             WBr:|F+~s  
       'cZMRR c <  
    \- =^]]b=  
    R3j#WgltP  
    连接建模技术:倾斜光栅 'B3Wza.  
    H^D 3NuUC  
                                                                        
    2;4]PRD6w  
    Jq$_=X&  
    可用的微结构建模技术: rX33s  
    G#e9$!  
    2f19W# '0  
                                                                                     #0bO)m+NZ  
    光栅阶数分析仪 " ^HK@$  
    6F*-qb3  
    )'[x)q  
    Q(|PZn g  
    参数变化分析仪                                                                            
    R CBf;$O  
       U~:N^Sc  
                                                                                 b96t0w!cs  
    M3Khc#5S(  
    参数优化                                                                             b0@>xT  
    k0|`y U  
                       I tI0x  
    AH2 _#\  
    优化结果-平均效率 x&C%4Y_]  
    yo\N[h7  
                                                       `^7:7Wr]=  
    R_1)mPQ^P  
    优化结果-对比度 DX}B0B  
    L*g. 6+2  
     
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