[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             NX;{L#lQ  
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由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             %%wngiz\  
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仿真任务                                                                             v33[Rk'
 
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连接建模技术:倾斜光栅 O7&OCo|b%>  
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可用的微结构建模技术: eIPk$j{e  
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光栅阶数分析仪 NY[48H  
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参数变化分析仪                                                                             lKRp9is
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参数优化                                                                             dW^#}kN7V  
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优化结果-平均效率 pG/g  
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优化结果-对比度 9<Th: t|w  
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