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    [技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-07-02
    摘要                                                                             `^FGwx@  
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    Y))u&*RuT0  
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    由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             xg NJeQ  
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    仿真任务                                                                             ;ml)l~~YU  
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    连接建模技术:倾斜光栅 p Wt) A  
    k-HCeZ  
                                                                        
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    f3Hed  
    可用的微结构建模技术: '`XX "_k3  
    o_D?t-XH  
    Jnna$6G)B  
                                                                                     q|v(Edt|_[  
    光栅阶数分析仪 @1 U&UH  
    .Y3pS/VI  
    KA){''>8  
    P~G1EK|4  
    参数变化分析仪                                                                            
    f~d d3m('  
       e|p$d:#!  
                                                                                 qd#sY.|1  
    (A?H1 9  
    参数优化                                                                             ~d%Pnw|  
    sm\f0P!rv  
                       Qum9A   
    DWID$w  
    优化结果-平均效率 OnF3lCmu  
    -|Y(V5]  
                                                       8 XICF  
    &g.+V/<[  
    优化结果-对比度 5o6>T!  
    GF>'\@Th  
     
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