[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             T.(SBP  
KX9ZwsC0  
vW4f3(/  
Wc]Fg9E  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             i5AhF\7F9  
RMv
lA'c  
仿真任务                                                                             '.d
W>7  
   }Ns_RS$  
V!Joh5=a  
EAq >v t83  
连接建模技术:倾斜光栅 yqBu7E$X  
k,@1rOf  
                                                                     de`6%%|  
[2FXs52  
可用的微结构建模技术: 6g.@I!j E  
CY7REF  
lO) B/N&  
                                                                                 aSK$#Xeu  
光栅阶数分析仪 }YSH8d  
~}M{[6!  
@eMyq1ZU  
-!}1{  
参数变化分析仪                                                                             X:e'
@]Z)?  
   2xnOWW   
                                                                             $"UAJ-  
;{ezK8FJ}@  
参数优化                                                                             >N3
{*W  
9rid98~d  
                   ?Z!KV=  
g_x<+3a  
优化结果-平均效率 7dakj>JM  
::5-UxGL<2  
                                                   rcbi
xOT  
vIG,!^*3  
优化结果-对比度 MUo?ajbqOd  
bc"{ZL!C