[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             gKK*` L~  
Qx,jUL#2  
}Xv2I$J  
+/,
J$(  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             r
|[uR$|Y  
9(`d h  
仿真任务                                                                             x5/O.5>f  
   ^VCgc>x;  
78't"2>  
G2Zr(b')  
连接建模技术:倾斜光栅 Ic_>[E?k  
QAiont ,!  
                                                                     w>M8FG(4]  
$ K>.|\
 
可用的微结构建模技术: %j4  
*^]Hqf(`  
bnS"@^M  
                                                                                 FF]xwptrx  
光栅阶数分析仪 A8bDg:G1i  
IyvJwrO  
l*;Isz:  
+D ,Nd=/  
参数变化分析仪                                                                             9z)p*+rUK  
   A1`y_ Aj  
                                                                             "/v{B?~%!  
|FK##8  
参数优化                                                                             8Io--Ew3  
Jr/|nhGl5  
                   </,RS5ukn  
E3X6-J|  
优化结果-平均效率 ^,`;x  
o5(`7XV6D  
                                                   pJ*x[y  
0"q^`@sZ  
优化结果-对比度
JVO,@~~  
L~nVoKY*V