[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             n("Xa#mY[  
"\cDSiD  
c!*yxzs\  
<:/Lap#D^  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             `?E|frz[  
>Q3_-yY+  
仿真任务                                                                             d9e_slx  
   QxS]6hA  
<+Eu.K&  
-<H\VT%98
 
连接建模技术:倾斜光栅
VzD LGLH  
Oy EOb>  
                                                                     v=5H,4UMA  
7+ +Fak  
可用的微结构建模技术: A0X'|4I  
*U>"_h T0  
~wYGTm=(n  
                                                                                 PL} Wu=  
光栅阶数分析仪 C2}n &{T  
xB-\yWDZe  
:j^IXZW  
4fauI%kc  
参数变化分析仪                                                                             K|L&mL&8  
   ncTPFv H5  
                                                                             qlSI|@CO  
B|d-3\sn
 
参数优化                                                                             ,5V w^@F  
*.%z  
                   ]gjQy.c|  
+pUG6.j%  
优化结果-平均效率 ]31>0yj[Q  
$40G$w  
                                                   9K!kU6Gh  
!0-KB#  
优化结果-对比度 W(5XcP(  
#qLsAw--Q