[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             \F8:6-  
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由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             ['_W<  
PL*1-t?#  
仿真任务                                                                             P.W@5:sD  
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d 6=Z=4w  
连接建模技术:倾斜光栅 n_eN|m?@  
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                                                                     kn= fW1  
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可用的微结构建模技术: <G /a-
Z  
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                                                                                 Psw<9[  
光栅阶数分析仪 WVdF/H  
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参数变化分析仪                                                                             eeCrH
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                                                                             r%FfJM@!  
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参数优化                                                                             G~{#%i  
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优化结果-平均效率 d6zfP1lQ  
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优化结果-对比度 dH~i  
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