国产首台商用200千伏场发射透射电子显微镜发布

不管是做研究还是做研发，得先“看”到，才能做到。6月28日，苏州博众仪器科技有限公司（以下简称博众仪器）发布国产首台商用200千伏场发射透射电子显微镜BZ-F200。该显微镜的点分辨率达到0.25纳米，晶格分辨率达到0.14纳米，能够直接分辨绝大多数材料的晶格结构。

“创业的路途是异常曲折的，我们最初没有人才、没有技术、没有供应链，缺乏客户与资金，困难重重下团队也曾迷茫。是解决国家关键技术的坚韧信念，让团队走到了今天。”博众精工董事长吕绍林在当日的发布会中坦露心迹。

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BZ-F200透射电镜微缩模型（左），关键部件电子源（右）。

透射电子显微镜是一种高分辨率的微观分析仪器。显微镜中的电子束穿透样品后，会携带样品内部结构信息，这些信息经过放大系统成像后，可放大百万倍，从而帮助使用者观察原子级图像。透射电子显微镜广泛应用于纳米级的研究与观测，是材料科学、生命科学和半导体等领域研究所必需的高端仪器设备。

BZ-F200的研发历时5年。博众仪器技术总监梁晶博士介绍，此前，高端透射电镜产业长期被国外仪器公司垄断，核心零部件受到国外技术封锁，针对这项痛点，博众仪器陆续实现了热场电子枪、超高稳定度电源、热场电子源、精密加工镜筒、纳米级测角台等核心零部件的自主生产，并在用户先期试用中得到验证。

梁晶介绍，该显微镜主要聚焦材料研发以及前沿科学领域，适用于晶格尺度的结构解析、缺陷分析、界面表征以及成分分析等研究。

“经过5年的技术攻关与反复锤炼，我们已将BZ-F200从整机到每一个关键零部件的全链条关键技术牢牢掌握在自己手中。”博众仪器总经理唐爱权表示，未来，博众仪器将坚定专注于电子束关键技术，不断完善产品线，并通过为业内提供电子束技术应用与服务，赋能产业生态建设。

如果将透射电镜比作材料科学的“眼睛”，那么高分辨成像与电子衍射技术便是这双眼睛的“瞳孔”。活动现场，重庆大学教授张大梁作为BZ-F200用户代表表示：“微观结构表征对于理解材料的应用属性至关重要，该显微镜在复杂晶体结构解析、微区结构表征和纳米尺度形貌分析等领域发挥着不可替代的作用。”

全国政协委员、清华大学教授段文晖认为，博众仪器高效结合了高等院校、科研机构对仪器的基础研究，并在短短两年时间内实现从原型机到商用整机的正式发布，为我国的高端科研仪器发展闯出了一条新路。

人才是支撑高水平科技自立自强的重要力量。作为博众仪器重要合作单位代表，苏州大学校长张桥表示，苏州大学将继续携手博众仪器，全力支持中国科研仪器产业高质量发展。