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Cv{>|g# 内容简介 :-HVK^$% Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 6QVdnXoG/ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 nQ >?{" 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 GkqKIs xaQ]Vjw 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 b%<-(o/ 目录 SS OF\ Preface 1 $%!'c#
F 内容简介 2 O#}T.5t 目录 i dWV.5cViP 1 引言 1 FbB^$ ]* 2 光学薄膜基础 2 ]kUF>Wp 2.1 一般规则 2 fT1/@ 2.2 正交入射规则 3 {HPKp&kl 2.3 斜入射规则 6 y]$%>N0vLX 2.4 精确计算 7 gj{2"tE 2.5 相干性 8 ) jBPt& 2.6 参考文献 10 ^eke,,~ 3 Essential Macleod的快速预览 10 0~{jgN~ 4 Essential Macleod的特点 32 p^PAbCP'|3 4.1 容量和局限性 33 b
'p0T1K( 4.2 程序在哪里? 33 \k\ {S2SU 4.3 数据文件 35 @Bs7kjuX 4.4 设计规则 35 e1a8>>bcI 4.5 材料数据库和资料库 37 "H I&dC 4.5.1材料损失 38 TZ8:3ti 4.5.1材料数据库和导入材料 39 m' D_zb9+ 4.5.2 材料库 41 Dizc#!IGU 4.5.3导出材料数据 43 ST'M<G%4E 4.6 常用单位 43 ;]AJ_h(<` 4.7 插值和外推法 46 {RFpTh7f: 4.8 材料数据的平滑 50 M6J~%qF^ 4.9 更多光学常数模型 54 K(P24Z\# 4.10 文档的一般编辑规则 55 J8Bz|.@Q 4.11 撤销和重做 56 AwrW!)n} 4.12 设计文档 57 Y'tPD#|r 4.10.1 公式 58 1FC'DH! 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Cx(|ZD^ 4.10.3 沉积密度 59 82ay("ZY 4.10.4 平行和楔形介质 60 ()K,~ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 o%dKi] 4.10.4 性能 61 ;"/[gFD5u 4.10.5 保存设计和性能 64 7,0^|P 4.10.6 默认设计 64 &&Ruy(&]I 4.11 图表 64 tQz =_;jy 4.11.1 合并曲线图 67 3ZRi@=kWz 4.11.2 自适应绘制 68 }pk)\^/w/ 4.11.3 动态绘图 68 n.+%eYM< 4.11.4 3D绘图 69 m~`d<RM/ 4.12 导入和导出 73 ]o}g~Xn 4.12.1 剪贴板 73 :&*Y
Io 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 /SDN7M]m! 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 J^t-p U 4.13 背景 77 tf?syk+jB7 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 f;os\8JdM 4.15 生成Rugate 84 {C+blzh6 4.16 参考文献 91 HLMcOuj 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 9i+OYWUO 5.1 Jobs 92 2d1Z;@x 5.2 创建一个新Job(工作) 93 oSd TQ$U!D 5.3 输入材料 94 kw,eTB<;R 5.4 设计数据文件夹 95 8:* 5.5 默认设计 95 -!_f-Nny 6 细化和合成 97 KtTlc#*KU 6.1 优化介绍 97 &>Zm gz 6.2 细化 (Refinement) 98 7 YS 'Tf 6.3 合成 (Synthesis) 100 z$#q'+$ 6.4 目标和评价函数 101 GWb=X cx 6.4.1 目标输入 102
UZJ^e$N 6.4.2 目标 103 $;GH
-+ 6.4.3 特殊的评价函数 104 |qUi9#NUo 6.5 层锁定和连接 104 [4p~iGC 6.6 细化技术 104 `6bIxb{ 6.6.1 单纯形 105 MR") 6.6.1.1 单纯形参数 106 "cJ))v-' 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Uk@du7P1k 6.6.2.1 Optimac参数 108 4oxAC; L 6.6.3 模拟退火算法 109 Kkfz a 6.6.3.1 模拟退火参数 109 dJvT2s.t[ 6.6.4 共轭梯度 111 \#)|6w- 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 "AN*2)e4 6.6.5 拟牛顿法 112 <V[Qs3uo( 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 S F:>dneB 6.6.6 针合成 113 ,"6Bw|s 6.6.6.1 针合成参数 114 HL8onNq 6.6.7 差分进化 114 :V,agAMn 6.6.8非局部细化 115 S10"yhn(-t 6.6.8.1非局部细化参数 115 YK xkO 6.7 我应该使用哪种技术? 116 sd5%S zx 6.7.1 细化 116 aM U0BS" 6.7.2 合成 117 FX1[ 2\ 6.8 参考文献 117 _E\Cm 7 导纳图及其他工具 118 +(Q$GO% 7.1 简介 118 `kE ;V!n? 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Mz59ac 7.2.1 四分之一波长规则 119 8Pb~`E/ 7.2.2 导纳图 120 1>~bzXY# 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 JxP&znng 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 qdW"g$fW 7.5 斜入射导纳图 141 6&J7=g%G 7.6 对称周期 141 XRQz~Py 7.7 参考文献 142 a:v5(@8 8 典型的镀膜实例 143 2}\/_Y6 8.1 单层抗反射薄膜 145 .}n-N
# 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 3Q0g4#eP 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 5>Kk>[|. 8.4 W-膜层 148 5%r:hO @S 8.5 V-膜层 149 u~pBMg
, 8.6 V-膜层高折射基底 150 "26=@Q^Y 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Mg"e$m 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 }xa~U,#5 8.9 四层抗反射薄膜 153 =)c^ik%F& 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 twWzS
4; 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ^-^ii3G` 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 @ajt
D-_2 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 VY#nSF` 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
;2y4^ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 luWr.<1 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 7oy}<9 8.17 1/4波长堆栈 162 TSKT6_IJw 8.18 陷波滤波器 163 {D$5M/$ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 @sdHB./ 8.20 褶皱 165 dZWO6k9[H 8.21 消偏振分光器1 169 :pH3M[7 8.22 消偏振分光器2 171 '.B5CQ 8.23 消偏振立体分光器 172 ieap 8.24 消偏振截止滤光片 173 {j8M78 }3 8.25 立体偏振分束器1 174 H`bS::JI- 8.26 立方偏振分束器2 177
g)mjw 8.27 相位延迟器 178 # 4&t09 8.28 红外截止器 179 ,f@\Fs~n 8.29 21层长波带通滤波器 180 p![UO I"W 8.30 49层长波带通滤波器 181 (Q?@LzCjy 8.31 55层短波带通滤波器 182 ,,c+R?D 8.32 47 红外截止器 183 Y"U t 8.33 宽带通滤波器 184 V(5*Dn84 8.34 诱导透射滤波器 186 -=WQed} 8.35 诱导透射滤波器2 188 BUs={"Pa 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 cj\?vX\V 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 A\w"!tNM| 8.35 增益平坦滤波器 193 koa-sy )#L 8.38 啁啾反射镜 1 196 5W!#,jz 8.39 啁啾反射镜2 198 207FD 8.40 啁啾反射镜3 199 #&}j'oD|N 8.41 带保护层的铝膜层 200 >ZwDcuJ~Lz 8.42 增加铝反射率膜 201 5Q/jI$^h0Z 8.43 参考文献 202 Ya
`$.D 9 多层膜 204 Kw7uUJR 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 -#Ys67,4N 9.2 内部透过率 204 v[<x>?iD_ 9.3 内部透射率数据 205 ;(-Wc9= 9.4 实例 206 6z5wFzJv?q 9.5 实例2 210 /# d^ 9.6 圆锥和带宽计算 212 5AK@e|G$w 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
^o87qr0g] 10 光学薄膜的颜色 216 #62*'.B4 10.1 导言 216 0j :u.x 10.2 色彩 216 <Uy $b4h 10.3 主波长和纯度 220 @u@,Edh 10.4 色相和纯度 221 {.])'~[U 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 $ ~%w21?& 10.6 色差 226 H+
7HD|GE 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 fuU
3?SG 10.8 颜色渲染指数 234 t3b M4+n 10.9 色差计算 235 J=J!)\m 10.10 参考文献 236 GOsOFs "I 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 bA1O]:` 11.1 短脉冲 238 tM|/OJ7 11.2 群速度 239 A*~BkvPr 11.3 群速度色散 241 5\Rg%Ezl 11.4 啁啾(chirped) 245 pr[V*C/ 11.5 光学薄膜—相变 245 %O$=%"D6 11.6 群延迟和延迟色散 246 :*ZijN*{)$ 11.7 色度色散 246 +|--}iE5n 11.8 色散补偿 249 P(UY}oU 11.9 空间光线偏移 256 = q(?ALGc 11.10 参考文献 258 H;seT XL 12 公差与误差 260 d`,z4_ 12.1 蒙特卡罗模型 260
Q@!XVQx4 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ^3ai}Ei3 12.2.1 误差工具 267 x];i?
4 12.2.2 灵敏度工具 271 KF6N P 12.2.2.1 独立灵敏度 271 xn>N/+, 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Mh2Zj 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 A34O(fE 12.3 参考文献 276 5,pEJ>dDD3 13 Runsheet 与Simulator 277 1En:QQ4/ 13.1 原理介绍 277 :NL[NbQYt 13.2 截止滤光片设计 277 0 ;].q*|# 14 光学常数提取 289 h1)ny1; 14.1 介绍 289 /
*/"gz% 14.2 电介质薄膜 289 -Q/wW4dE= 14.3 n 和k 的提取工具 295 ::_bEmk 14.4 基底的参数提取 302 l cM 14.5 金属的参数提取 306 QnJLTBv 14.6 不正确的模型 306 B@@tKn_CQ 14.7 参考文献 311 (-],VB
(+ 15 反演工程 313 ,vo]WIQ\: 15.1 随机性和系统性 313 v cUGBGX_& 15.2 常见的系统性问题 314 86e aX+F 15.3 单层膜 314 iL!4r]~H 15.4 多层膜 314 DS9-i2 15.5 含义 319 6HPuCP 15.6 反演工程实例 319 GO.7IL{{ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Z^BZH/I? 15.6.2 反演工程提取折射率 327 P'o]#Az 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 /'zXb_R,$ 16.1 光学性质的热致偏移 329 -Mf-8zw8G 16.2 应力工具 335 =4sx(< 16.3 均匀性误差 339 |S~$IFN4 16.3.1 圆锥工具 339 3ZN\F 16.3.2 波前问题 341 d+vAm3.Dg 16.4 参考文献 343 K%W;-W*' 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 )H`V\H[0P 17.1 引言 345 \=P(?!v 17.2 操作数 345 i8KoJY" 18 如何在Function中编写脚本 351 &^w" 18.1 简介 351 ,xR u74 18.2 什么是脚本? 351 ,@fx[5{ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 upaQoX/C 18.4 基础 352 89j:YfA=v 18.4.1 Classes(类别) 352 '(SivD 18.4.2 对象 352 LqO=wK~ 18.4.3 信息(Messages) 352 *&I
_fAh] 18.4.4 属性 352 l8J2Xd @ 18.4.5 方法 353 c[V.j+Iy#^ 18.4.6 变量声明 353 H!6+x*P0 18.5 创建对象 354 U<r!G;^` 18.5.1 创建对象函数 355 vRn]u57O 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 5wdKu,nq 18.5.3 丢弃对象 356 Y
DW^N]G 18.5.4 总结 356 `mI5Z*]- 18.6 脚本中的表格 357 7<=p* 18.6.1 方法1 357 cL!A,+S[_ 18.6.2 方法2 357 ?`xm_udc 18.7 2D Plots in Scripts 358 ]jPP]Z:y 18.8 3D Plots in Scripts 359 }I MV@z B 18.9 注释 360 9~$E+m( 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Q^=0p0 18.11 一个更高级的脚本 362 Kv:Rvo 18.12 <esc>键 364 >y,. `ECn 18.13 包含文件 365 hrO9_B|# 18.14 脚本被优化调用 366 p] N/]2rR 18.15 脚本中的对话框 368 4"3.7.<Q` 18.15.1 介绍 368 ir>S\VT4 18.15.2 消息框-MsgBox 368 !G6h~`[ 18.15.3 输入框函数 370 s|:1z"q 18.15.4 自定义对话框 371 kma>'P`G 18.15.5 对话框编辑器 371 fFoZ!H 18.15.6 控制对话框 377 OHW|?hI=[ 18.15.7 更高级的对话框 380 @Kn@j D; 18.16 Types语句 384 *z#du*f[ 18.17 打开文件 385 QC!SgV 18.18 Bags 387 1G67#L)USq 18.13 进一步研究 388 %C@p4 19 vStack 389 Fa\jVFIQ 19.1 vStack基本原理 389 WbBd<^Q 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 >4-9 @i0FV 19.3 五棱镜 393 :bi(mX7t 19.4 光束距离 396 k4!_(X%8 19.5 误差 399 *W^a<Zm8> 19.6 二向分色棱镜 399 w (z=xO 19.7 偏振泄漏 404 QSn18V>{ 19.8 波前误差—相位 405 +]zRn 19.9 其它计算参数 405 m2YsE
j7 20 报表生成器 406 '\+"3!$ 20.1 入门 406 fLd2{jI, 20.2 指令(Instructions) 406 H3`.Y$z 20.3 页面布局指令 406 Yh;(puhyA 20.4 常见的参数图和三维图 407 NQ;$V:s) 20.5 表格中的常见参数 408 r{84Y!k~* 20.6 迭代指令 408 `@WJ_-$# 20.7 报表模版 408 $duT'G, - 20.8 开始设计一个报表模版 409 IbJl/N%o 21 一个新的project 413 j_~mP>el) 21.1 创建一个新Job 414 Bd)Cijr 21.2 默认设计 415 Lfdg5D5.P 21.3 薄膜设计 416 ;"ESN)*|i 21.4 误差的灵敏度计算 420 km][QEXs% 21.5 显色指数计算 422 tJn"$A^N 21.6 电场分布 424 u<N`;s 后记 426 2"6qg>]-t 对此书感兴趣可以扫码加微联系 LH=^3Gw
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