这是一维周期线栅的简单案例。周期单元包含通过
光栅的二维截面。在这种情况下，线栅的横截面呈梯形，它位于衬底上，被背景
材料包围。示例中的材料选择为铬(线栅)、
玻璃(基底)和空气(背景材料)。
sZ0g99eX 光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当
波长为193nm时，平面波从衬底侧垂直入射到
结构内的近场强度。
S偏振光照明的近场强度
P偏振光照明的近场强度 B) ( p9]q
}~7H2d);- 后处理傅里叶变换计算透射
衍射级次的振幅。
~r(g|?}P ;m-6.AV 参数扫描 \W3+ VG2cA oA(. vr Matlab®脚本data_analysis/run_scan_illumination.m提供对入射角的扫描。它产生了以下图表，显示了反射和透射衍射级次的强度：
Yt\E/*% gubb .EY 在脚本data_analysis/run_scan_width.m中,光照角度固定时，线栅的宽度从150nm增至250nm。这将产生以下线栅宽度依赖关系：
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