这是一维周期线栅的简单案例。周期单元包含通过
光栅的二维截面。在这种情况下，线栅的横截面呈梯形，它位于衬底上，被背景
材料包围。示例中的材料选择为铬(线栅)、
玻璃(基底)和空气(背景材料)。
;a 6Z=LB 光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当
波长为193nm时，平面波从衬底侧垂直入射到
结构内的近场强度。
S偏振光照明的近场强度
P偏振光照明的近场强度 T/234;Uf|
=$Sv KzN 后处理傅里叶变换计算透射
衍射级次的振幅。
c2Wp 8l "7J38Ej\ 参数扫描 N qS]dH61 d <RJH Matlab®脚本data_analysis/run_scan_illumination.m提供对入射角的扫描。它产生了以下图表，显示了反射和透射衍射级次的强度：
0+T:};] |[!7^tU* 在脚本data_analysis/run_scan_width.m中,光照角度固定时，线栅的宽度从150nm增至250nm。这将产生以下线栅宽度依赖关系：
xX.kKEo"d
