毕树生 宗光华 摘自:中国机械工程 4&ea*w
Pz|qy,
微机械电气系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)这一前沿技术主要涵盖以下研究专题:①集成化微型仪器与传感器;②微加工与测试技术;③微操作系统。 45MK|4\Y_
r$v?[x>+K
微操作系统作为MEMS研究领域的一个重要分支受到各发达国家的高度重视,纷纷投入大量资金进行微操作机器人系统的研究,现已研制出多种各具特色的微操作机器人实验样机系统[1]。 Lf 0Hz")
1wc
-v@E
自1993年起,在国家自然科学基金资助下,北京航空航天大学开始从事微操作机器人的研究,研究内容主要集中于各单元技术。经过几年的技术储备,研究重点开始由各单元技术转向系统集成及应用,如微操作系统的数学模型、微动仿生机构综合理论、基于图像的视觉伺服理论、精细微操作系统的光-机-电集成设计方法等,并把生物工程作为微操作机器人系统的主要应用领域。 :GK{JP
D hZtiqL#_
把生物工程作为微操作机器人的应用领域,目的可以解释为2点:①从应用层面说,目标相当明确地界定在“面向生物工程”上,如细胞操作、基因转移、染色体切割等,希望给下一世纪中国的“绿色革命”带来推动作用。②从技术层面说,定位在基于显微视觉全局闭环的计算机伺服自动协调作业上。长远观之,其相关技术与微加工、微电子、显微医学等可触类旁通。 N0vd>b
Xp} vJl
1 微动并联机器人[2] Xb^\{s?b
f6L_uk`{
“微动并联机器人的研制”课题研制了1台六自由度微动机器人,以其为核心建立了一套包括三自由度粗动平台、显微视觉系统、控制系统及周边辅助设备的实验平台,并重点围绕微操作机器人的机构选型、误差分析、显微视觉及系统标定等方面做了较深入的研究。具体阐述如下: LDBR4@V
Km <Wh=
(1) 通过对国内外微动机构的分析与综合,设计出了创意独特、两级解耦的串并联微动机器人,这在微动机器人领域尚属首例。 J82{PfQ"
{my=Li<