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摘要 @_O3&ZK 5"2@NL
Fwv\ pJ}$ MPG+B/P& 双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维成像提供了高分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。 x!+Z{ x n)CH^WHL& 建模任务 lk o3]A3 ybYXD?
UzJ!Y / 5 s((b"{fFb 在VirtualLab Fusion中构建系统 hU+#S(t>b [oJ& J>U' 系统构建块 ?\d5;%YSr d~/xGB`<
I1v@\Rb Bxt_a.LthH 元件解算器 Di])<V )u
Qvt-
cf&C|U !p"Kd ~ 利用光线追迹进行几何光学仿真 ZmP1C`> vC-[#]< 结果:几何光线追迹 Crg#6k1~EN %|bN@@
`|JI\&z #'KY`&Tw& 利用场追迹进行物理光学仿真 <L%HG P;>!wU~* 不同离焦像面的双螺旋PSF /rOnm=P+Q C?(y2p`d\
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