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摘要 mmE\=i~ N =FX3Z
Z]V^s8> jdqVS @SD 双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维成像提供了高分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。 7o_1PwKS6 R*|y:T,H 建模任务 1t w>C\ WhQK3hnm
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gc Xn@\p5< 在VirtualLab Fusion中构建系统 SaceIV%( {]BPSj{B 系统构建块 VRV*\*~$ |Ii[WfFA|J
TwJiYXHw? iI\bD 元件解算器 $a.fQ<,\X dCc"Qr[k
}tJRBb (cAWT, 利用光线追迹进行几何光学仿真 zW.I7Z0^ DLggR3K_\ 结果:几何光线追迹 *'[8FZ|dQ Zq1ZrwPF
&\6Buw_ }x!=F<Q!r 利用场追迹进行物理光学仿真 J< Ljg<t+ %EV\nwn6 不同离焦像面的双螺旋PSF Jy<hTd*q l ld,&N8
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